판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON 30X #9241221

TEL / TOKYO ELECTRON 30X
ID: 9241221
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Endpoint detection system, 12" 2006 vintage.
TEL (TE) TEL/TOKYO ELECTRON 30X는 안정적이고 효율적인 샘플 도핑 및 열 어닐링 수단을 제공하는 고급 확산 로입니다. 이 확산 로에는 다른 열 공정에 대한 레이저 다이오드, 저항 와이어, 전자 빔 등 여러 소스가 장착되어 있습니다. TE TEL 30X는 금속화 및 도핑에 최적화된 3 개의 독립적 인 도가니 어셈블리로 설계되었습니다. 또한 FORSUS (FORSUS) 및 FILTEC Automation (FILTEC 자동화) 기능을 통해 장비의 전반적인 성능을 향상시키면서 작업 복잡성을 줄일 수 있습니다. TE TOKYO ELECTRON 30X 확산 로의 최대 온도는 1025 ° C이며 수평/수직 구성입니다. 또한 최대 6 개 영역 온도 제어를 위해 구성 할 수 있으며, 다양한 어닐링 (annealing) 프로세스에 대해 복잡한 온도 그라디언트를 만들 수 있습니다. 또한, 퍼니스는 암모니아-원자 도핑, 필름 증발, 고체 확산 등 도핑을위한 다양한 기능을 제공합니다. 또한 TE 30X 는 시스템의 기능을 극대화하는 다양한 통합 자동화 (Integrated Automation) 기능을 갖추고 있습니다. 포서스 (FORSUS) 및 필텍 (FILTEC) 자동화 시스템은 거의 자동화된 작동을 제공하여 사용자는 프로세스를 제어하고 용광로의 동작을 계획할 수 있습니다. 이 장치는 또한 효과적인 열 관리 (thermal management) 를 제공하며, 사용자가 에너지를 절약하고 생산 효율성을 높일 수 있도록 합니다. TE TEL/TOKYO ELECTRON 30X에는 열 프로세스의 사용성을 향상시키기 위해 추가 액세서리도 포함되어 있습니다. 이 액세서리에는 메쉬 보트, 쿼츠 튜브, 쿼츠 컵, 특수 및 고온 도가니 등 다양한 쿼츠 웨어 제품이 포함됩니다. 또한, TE TEL 30X는 고급 접지기를 특징으로하며, 이는 고온 과정에서 운영자의 안전을 보장합니다. 전반적으로, TE TOKYO ELECTRON 30X는 다양한 어플리케이션에 빠르고 정확한 열 처리 기능을 제공하는 강력한 도구입니다. 여러 소스, 자동 시스템, 추가 액세서리 (액세서리) 를 갖추고 있어 복잡성을 최소화하면서 성능을 극대화할 수 있습니다. TE 30X 확산 로는 고급 (Advanced) 기능과 신뢰성 있는 성능을 제공하므로 실험실에서 탁월한 성능을 제공합니다.
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