판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON 30X #9241217

TEL/TOKYO ELECTRON 30X는 TEL (TOKYO ELECTRON) 회사에서 제조 한 확산 로입니다. 이것 은 최대 1250 "센티미터 '의 온도 에서 재료 를 반도체" 웨이퍼' 와 같은 "웨이퍼 '로 확산 하도록 설계 된 자동화 된 장비 이다. TEL 30X 시리즈의 확산 용광로 (diffusion furnace) 는 다른 확산 용광로 모델과는 별도로 다양한 기능을 자랑합니다. 도쿄 전자 (TOKYO ELECTRON) 30X 시리즈 확산 로에는 다양한 선택적 액세서리 및 구성 요소가 제공되며, 이를 통해 확산 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. 용광로의 주요 구성 요소는 세라믹 원자로 튜브 (ceramic reactor tube) 로, 높은 정밀 온도 제어로 작동하도록 설계되었습니다. 튜브 내부의 열 영역은 쿼츠 피로미터 (quartz pyrometer), 열전대 (thermocouple) 및 가열 요소를 포함한 다양한 구성 요소로 구성됩니다. 이를 통해 용광로는 열 영역 내에서 정확한 온도 조절을 달성 할 수 있습니다. 30 배 (30 X) 시리즈의 확산 용광로에는 진공 및 과압 방지 (overpressure protection) 와 같은 여러 가지 안전 기능이 제공되며 비활성 대기권에서 작동하도록 설계되었습니다. 이렇게 하면 처리되는 작업 조각의 무결성 (integrity) 이 확산 프로세스 전반에 걸쳐 유지됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON 30X 시리즈의 확산 로에는 열 영역 (thermal zone) 을 제어 및 유지하는 것 외에도 다양한 유틸리티와 컨트롤이 제공되어 사용자가 확산 프로세스를 제어 할 수 있습니다. 여기에는 VNC (Virtual Network Computing) 제어 시스템이 포함되어 있으며, 이를 통해 사용자는 원격 위치에서 프로세스를 제어 및 모니터링할 수 있습니다. 용광로에는 할로겐 램프 온도 조절 장치 (halogen lamp temper control unit), 열 사이클링 기계 (thermal cycling machine) 및 웨이퍼 홀더 클램핑 도구 (wafer holder clamping tool) 를 포함한 여러 가지 다른 기능도 있습니다. TEL 30X 시리즈의 확산 용광로 (diffusion furnace) 는 또한 통합 열 이미징 (integrated thermal imaging) 및 프로세스 매핑 자산 (process mapping asset) 을 포함하여 다양한 온도 측정 및 프로세스 제어 기능을 자랑합니다. 이것은 용광로의 다양한 다른 기능과 결합되어, 사용자가 균일하고 효율적인 확산 (diffusion) 프로세스를 만들 수 있습니다. TOKYO ELECTRON 30X는 전력, 정확도, 안전 기능의 조합으로 인해 많은 사용자에게 인기있는 선택이되었습니다. 이 제품은 다양한 웨이퍼 (wafer) 에 확산 프로세스를 만들 수 있는 효율적이고 안정적인 솔루션을 제공하며, 다양한 액세서리 (accessory) 및 옵션 (option) 을 통해 확산 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다.