판매용 중고 TEL MATr 8000 #293718846

TEL MATr 8000 은 반도체 업계의 까다로운 요구를 충족시키기 위해 설계된 고성능, 고급 확산 로입니다. 최첨단 제품으로, 다양한 확산 프로세스 (diffusion process) 를 위한 다용도, 신뢰성 있는 툴이 되는 다양한 혁신적인 기능과 기능을 갖추고 있습니다. MATr 8000 (MATr 8000) 의 중심에는 웨이퍼 표면에서 균일하고 일관된 온도 분포를 보장하는 정밀 제어 난방 장비가 있습니다. 이것은 도핑 프로세스에서 정확하고 반복 가능한 확산 프로파일을 달성하는 데 중요합니다. 용광로는 섭씨 1200 도까지 온도에 도달 할 수 있으며, 다양한 고온 공정에 적합합니다. TEL MATr 8000 은 수직 용광로 (vertical furnace) 설계를 통해 전면 액세스 도어를 통해 웨이퍼를 쉽게 로드 및 언로드할 수 있습니다. 이 설계는 또한 용광로의 설치 공간을 최소화하여 공간이 제한된 클린 룸 (cleanroom) 환경에 적합합니다. 용광로 챔버 (furnace chamber) 는 고순도 석영으로 만들어져 화학 반응에 대한 뛰어난 열 안정성과 내성을 보장합니다. MATr 8000 (MATr 8000) 의 주요 장점 중 하나는 고급 가스 전달 시스템 (Advanced Gas Delivery System) 으로, 확산 과정에서 가스 유속 및 농도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이것은 원하는 도핑 프로파일을 달성하고 반도체 재료의 결함을 최소화하는 데 중요합니다. 퍼니스에는 여러 개의 가스 입구 (gas inlet) 와 질량 흐름 컨트롤러 (mass flow controller) 가 장착되어 있어 공정 개발에서 높은 수준의 유연성을 제공합니다. TEL MATr 8000 은 코어 난방 (core heating) 및 가스 전달 (gas delivery) 기능 외에도 다양한 액세서리 모듈을 장착하여 성능과 다양성을 더욱 향상시켜 줍니다. 여기에는 확산 후 처리를위한 빠른 열 어닐링 모듈, 빠른 냉각을위한 웨이퍼 냉각 모듈, 프로세스 매개변수에 대한 실시간 피드백을위한 프로세스 모니터링 장치 (process monitoring unit) 가 포함됩니다. MATr 8000 (MATR 8000) 은 프로세스 레시피를 쉽게 프로그래밍하고 실시간으로 주요 매개변수를 모니터링할 수 있는 정교한 소프트웨어 머신에 의해 제어됩니다. 소프트웨어 인터페이스 (Software Interface) 는 사용자 친화적이며 직관적으로 운영자가 최소한의 교육을 통해 확산 프로세스를 설정하고 실행할 수 있도록 합니다. 전반적으로, TEL MATr 8000 (TEL MATr 8000) 은 다양한 반도체 처리 어플리케이션에 탁월한 성능과 유연성을 제공하는, 매우 고급적이고 안정적인 확산 로입니다. 정밀 제어 난방 도구, 고급 가스 전달 자산, 다양한 액세서리 모듈 (accessory module) 은 고급 반도체 장치 제작에서 정확하고 반복 가능한 확산 프로파일을 달성하기위한 이상적인 도구입니다.