판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #144024
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판매
ID: 144024
TiN Furnace, 8"
System configuration:
(Qty.)System Hand LL
System Paint Color White
Furnace Front Surface Finish Painted
Process Pressure 500 mTorr
Process Temperature ( C ) 800C
FTP Heater Installed
Rapid Cooling Unit Installed
Heater Type FTP VOS-40-017 (RT)-1000C
N2 Purge System Installed
02 Densimeter Model NGK SH-302
SMIF Not Installed
SMIF POD (maker/model) N/A
SMIF OEM Probe (maker/model) N/A
AGV Compatibility Not Installed
Process Gasses
Process Gas 1 Pure N2
Process Gas 2 NH3
Process Gas 3 H2
Process Gas 4 ClF3
Process Gas 5 TiCl4
Gas Distribution System
Basic Style Integrated Gas System Rail Type (Fujikin)
Tubing Material Stainless Steel
Tubing Finish Electro-polish
Manual Valve FUJIKIN
Air-Operated Valve FUJIKIN
Filter Millipore
Regulator Veriflo
MFC STEC SEC-7350 (Analog)
Press. Transducer Veriflo
Press. Transducer Display Reference Compound
External Torch Unit N/A
Baking System - Burn Out Unit Not Installed
Vaporizer N/A
Liquid Source Auto-Refill N/A
Auto-Refill Provided By N/A
Auto-Refill Tubing Interconnect By N/A
Auto-Refill Power Provided By N/A
Gas System Schem. Dwg/Parts List 2109-323548-13
Panel Heater for Furnace Opening N/A
Vacuum System:
Vacuum Pressure Controller CKD-VEC
Trap Not Installed
Pump-FNC Vac Tubing Provided By Customer
Manifold Heater Not Installed
Water/Cassette Handling
Wafer Type 200mm SEMI STD - Notched
Wafer Notch/Flat Aligner Installed
Cassette Type
Cassette-Number of Wafers 25
Cassette Storage Qty. 21
Monitor Cassette Operation
Cassette In-Out Sequence
Transfer-stage Protrusion Sensor Installed
Fork Type/Material 1+4
For-Wafer Presence Sensor Installed
Fork-Wafer Position Sensor or Guide Not Installed
Fork-Variable Pitch Installed
Boat/Pedestal
Boat Rotation Installed
Cap Heater Installed
System Controls
System Controller WAVES
Remote MMI and Gas Flowchart Not Installed
Signal Tower/Colors Red/Yellow/Green
Signal Tower Location(s)) FNC Front
General Pressure Display Units PSI
Cabinet Exhaust Display Units Pa
Temperature Control
Furnace Temperature Controller M-560A
Gas Leak Detection
Gas Detection Provided By TEL
Gas Detection System Maker Riken
Gas 1 Detected/Point H2 U/Box
Gas 2 Detected/Point NH3 U/Box
Gas 3 Detected/Point ClF3 U/Box
Customer I/F Ctrl. Handshakes
Other Options and Specials Not Installed
Bar Code Reader (maker/model Not Installed
Other Options and Specials
Bar Code Reader (maker/model Not Installed
Chemical Pre-filter Not Installed
Rapid Ionizer (maker/model) Not Installed
Equipment Layout & Facilities
Furnace Exhaust Connection Point Top Connection
Cooling Water Connection Point Bottom Connection
Incoming Gas Connection Point Top Connection
Gas Unit Exh. Connection Point Top Connection
Facility Elect. - Equip. Per Input
Voltage 3phase 480V
Voltage1phase 120V
Ctrl Pwr UPS make/model No UPS
UPS Input Voltage/Output Voltage N/A
Step Down Transformer (Outside) 480V In 100V/200V Out
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE는 반도체 기질의 정밀한 열 처리에 사용되는 확산 용광로 및 액세서리입니다. 특히 소스/배수 개발 및 연간 용도로 사용됩니다. 용광로는 TEL 고급 선형 고효율 난방 공정으로 만들어져 탁월한 균일성 (unifority) 및 온도 반응으로 정밀한 온도 제어를 가능하게합니다. TEL ALPHA-8SE 확산 로에는 고품질 멀티 채널 전송 시스템 (multi-channel transport system) 이 장착되어 있으며, 여러 기판을 적재할 수 있는 대용량이 있습니다. 공정 챔버 (Process Chamber) 는 표준 대기 및 진공 가공뿐만 아니라 옵션 인-시투 가스 인젝터 (in-situ gas injector) 를 통한 대기 제어가 가능합니다. 도쿄 전자 알파 -8 SE (TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE) 의 고온 범위는 광범위한 프로세스 요구 사항을 허용하며, 이중 영역 설계는 온도 및 대기 최적화를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 ALPHA 8 S E에는 고급 디지털 제어 시스템이 함께 제공되므로 온도, 압력, 비상 정지 설정 (Emergency Stop Settings) 과 같은 프로세스 매개변수를 정확하고 안정적으로 제어할 수 있습니다. 또한 자동 관찰 기능 (Auto-Observe feature as standard) 을 사용하면 균일성을 최적화하기 위해 프로세스 매개변수를 모니터링하고 프로세스 도중 현장 (in-situ) 을 조정할 수 있습니다. 프로세스 모니터는 또한 SPC (statistical process control) 및 분석에 사용할 수있는 기간별 프로세스 데이터를 캡처합니다. 또한 TEL Alpha 8SE에는 물리적 및 전자적 표준 안전 기능이 있습니다. 안전 연동 (Safety Interlock) 은 운영자가 용광로 및 전송 시스템에 들어가는 것을 방지하며, 비정상적인 상황의 경우 긴급 중지 (Emergency Stop) 를 제공합니다. 다른 보호 장비로는 공정 챔버 (process chamber) 가 압력을 가하지 않도록 유지하는 공기 필터링 시스템 (air filtering system) 과 챔버 도어에 대한 열 단열을 제공하는 내열 고무 코팅 (heat-resistance rubber coating) 이 있습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E 확산 로와 액세서리는 고급 열 프로세스에 적합한 선택입니다. 기본 프로세스 표준화 (Basic Process Standardization) 에서 전체 자동화 (Full Automation) 에 이르기까지 광범위한 기능을 제공하며 안전성과 프로세스 신뢰성을 보장합니다. 고급 블랭킷 (blanket) 솔루션은 프로세스 균일성을 향상시키는 한편, 디지털 제어 시스템은 데이터 획득 및 분석을 단순화합니다. 이러한 모든 기능과 장점은 TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E를 강력하고 다양하며 신뢰할 수있는 도구로 만듭니다.
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