판매용 중고 SVG / THERMCO Ranger 3000 #9256561

SVG/THERMCO Ranger 3000은 웨이퍼 및 다이 레벨 반도체 처리 응용 분야에 적합한 확산 용광로 및 액세서리 패키지입니다. 두 가지 주요 전자 레인지 장비 제조업체 간의 합작 투자 결과, SVG 레인저 3000 (SVG Ranger 3000) 은 현대 응용 연구, 재료 처리 및 제품 프로토 타입 (prototyping) 요구 사항을 지원하는 다양한 기능과 이점을 제공합니다. THERMCO Ranger 3000은 뛰어난 균질성과 경제적 증착률을 제공하는 고급 디자인 연속 흐름 확산 퍼니스입니다. 이 제어 가능한 확산 로는 확장 된 범위의 공정 온도 (process temper) 에 걸쳐 정확한 물리적 증기 증착 특성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 설계에는 최적의 확산 성능을 보장하기 위해 다양한 고급 기능 (예: 직접 구동 모터, 이중 온도 조절 영역) 이 통합되어 있습니다. 열전대 모니터링 (thermocouple monitoring) 및 닫힌 루프 제어 (closed loop control) 옵션은 용광로 챔버에서 직접 피드백을 허용하여 증착 및 어닐링 응용 프로그램의 정밀도와 정확도를 높입니다. 이 고정밀 설계는 또한 열 변동 위험을 줄여 반복 가능한 웨이퍼 레벨 결과를 보장합니다. Ranger 3000은 0.1 ° C 정확도의 넓은 동적 온도 범위 (600 ° -1200 ° C), 여러 가스 소스 및 가스 혼합성 및 균일 한 내부 축 온도 프로파일을 허용하는 Wide-Band-Gap Dynamic Flow-Averaging 기술을 갖추고 있습니다. SVG/THERMCO Ranger 3000에는 쿼츠 토치, 샘플 바구니, 홀더, 지원 로드 및 신뢰할 수있는 RF 임피던스 매칭 시스템을 포함한 다양한 액세서리가 포함되어 있습니다. "쿼츠 '토치 는 균일 한 증착층 층 을 정확 하게 배치 하기 위하여 확산" 소오스' 와 통합 되며, 보조 "컴포넌트 '는 증착" 웨이퍼' 를 효율적 으로 처리 하고 배치 하도록 설계 되었다. 수반 된 RF 임피던스 매칭 시스템은 모든 유형의 증착 프로세스에서 훌륭하게 수행되며, 웨이퍼 및 다이 레벨 기판의 효율적이고 정확한 판별을 제공합니다. 요약하면, SVG Ranger 3000은 다양한 연구, 재료 처리 및 제품 프로토 타입 (prototyping) 애플리케이션에 적합한 고급 디자인 연속 흐름 확산 로와 액세서리 패키지입니다. 정확한 물리적 증기 증착 특성, 우수한 균질성, 정확한 온도 조절, 액세서리 배열은이 시스템을 많은 현대 반도체 요구를 충족시키는 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 솔루션으로 만듭니다.