판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA / WATKINS JOHNSON RVP-300 Plus #293639266

SVG/THERMCO/AVIZA/WATKINS JOHNSON RVP-300 Plus는 연구, 제작 및 생산 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 확산 용광로 장비입니다. 전체 시스템은 RVP-300 시리즈 메인프레임, 펌프, 컨트롤러 및 특수 액세서리로 구성됩니다. 이 장치는 어닐링, 윤활, 열 처리, 경화, 특수 가스로 도핑 등 확산 공정에 대한 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 메인프레임은 로드 용량이 1000 파운드 인 RV300-300 Plus 챔버, SVG RVP-300 Plus 컨트롤러, 2 개의 자동 가스 밸브가있는 2 개의 가스 탱크 및 진공/압력/압력 제어 머신으로 구성됩니다. AVIZA RVP-300 플러스 챔버 (Plus Chamber) 는 스테인리스 스틸 (Stainless Steel) 로 구성되어 있으며 광범위한 작동 온도 범위에서 열 균일성과 안정성을 제공하도록 설계되었습니다. 공구의 전력 등급은 30kW이고 온도 범위는 350 ~ 2000 ° C입니다. 이 챔버에는 열 손실 및 에너지 소비를 방지하기 위해 자동 벨로우 (bellows) 물개 및 세라믹 절연이 있습니다. RVP-300 Plus (RVP-300 Plus) 는 매개변수 매개변수를 정확하게 제어하고 기존 반도체 제조 도구 및 프로세스와의 통합을 용이하게 합니다. 에셋에는 챔버 압력 (chamber pressure) 과 흐름 (flow) 의 정확한 온도 조절 및 정확한 조정을 제공하는 다중 세그먼트 디지털 컨트롤러가 포함되어 있습니다. 사용자 프로그래밍 가능 기능 (User Programmable Function), 그래픽 인터페이스와 함께 PC 호환 소프트웨어를 사용한 확산 프로세스의 실시간 모니터링 (Real-Time Monitoring) 등 모델의 고급 기능으로, 연구 및 제작 응용 프로그램에 매우 효율적입니다. THERMCO RVP-300 Plus는 또한 2 개의 자동 가스 밸브가있는 2 개의 가스 탱크를 통해 정밀한 가스 제어를 제공합니다. 이 약실은 기체 (gase) 의 흐름을 정확하게 제어할 수있는 저압 시스템 (low-pressure system) 으로 설계되었습니다. WATKINS JOHNSON RVP-300 Plus에는 효율적이고 정확한 작동을 위해 설계된 다양한 특수 액세서리도 제공됩니다. 액세서리에는 재료 취급 및 배치를위한 특수 바구니 및 트레이, 정밀 온도 측정을위한 열전대, 하중 및 언로드 카트, 공정 대기 제어를위한 챔버, 가스 및 연기 수집을위한 배기 장치 (exhaust unit) 가 포함됩니다. 이 기계는 또한 다양한 자동화 및 로봇 웨이퍼 처리 시스템과 호환됩니다. 전반적으로 SVG/THERMCO/AVIZA/WATKINS JOHNSON RVP-300 Plus 확산 용광로 도구는 정확하고 정확한 제어가 필요한 경우 매우 효율적이고 안전하며 작동하기 쉽습니다. 자산은 신뢰성이 매우 뛰어나며 유지 보수가 최소화되어 다운타임이 최소화되고 생산성이 극대화됩니다 (영문). 고유한 기능과 고급 액세서리를 갖춘 이 모델은 반도체 제작, 연구, 생산, 기타 특수 재료 처리 (special material treatment) 등 다양한 응용 분야에 이상적인 확산 로입니다.