판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA VTR #9278764

SVG / THERMCO / AVIZA VTR
ID: 9278764
웨이퍼 크기: 6"
Furnaces, 6" 1997-2006 vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR은 단일 도어 장비에서 3 중 도어 장비에 이르는 확산 로와 액세서리입니다. 이 시스템은 단결정 실리콘 웨이퍼 (single-crystalline silicon wafer) 와 같은 단일 기질에서 기판 또는 3D 개체와 같은 더 큰 프레임 워크까지 다양한 물질에 대해 빠르고 효율적인 열 처리를 제공합니다. SVG VTR의 핵심 구성 요소는 오른쪽 또는 왼쪽 로딩, 고해상도 터치 스크린 컨트롤러, 고정밀 온도 제어 프로그램이있는 도가니 없는 로입니다. 이 장치는 사용 중인 시간 온도 프로그램을 보여 주는 대화식 그래프 (interactive graph) 를 특징으로하며, 최대 99 개의 프로그램을 메모리에 저장할 수 있습니다. 또한, 용광로 작동을 모니터링 및 문서화하는 전자 데이터 레코더가 장착되어 있습니다. AVIZA VTR은 안정적이고 빠른 가열주기 (heating cycle) 를 제공하여 밀접하게 모니터링되는 환경에서 균일 한 온도 프로파일을 만듭니다. 기계의 최대 온도는 대기 대기에서 1600 ° C, 질화물 대기에서 2400 ° C입니다. 다중 영역 온도 제어 (multi-zone temperature control) 는 온도 프로파일을 정확하게 모니터링하고 제어하여 온도 그라디언트를 제거하는 이중 영역 온도 제어 포트로 디지털 방식으로 설정됩니다. 열 공정의 고품질을 보장하기 위해 THERMCO VTR (THERMCO VTR) 도구는 용광로 챔버 내에 균일 한 온도 및 균질 한 대기를 유지하는 통합 재순환 자산을 가지고 있습니다. 또한, 이 모델에는 냉각용 고성능 레이디얼 팬 (radial fan) 이 장착되어 있어 온도 프로파일에 대한 엄격한 제어를 보장하고 냉각 (cool down time) 을 단축합니다. 또한, 사용자의 안전과 프로세스의 정밀성을 보장하기 위해 VTR에는 자동 레벨링 (auto-leveling) 기능과 2 개의 강력한 리프트 실린더 (lift cylinder) 가 장착되어 기판 플랫폼 레벨을 유지합니다. 또한 SVG/THERMCO/AVIZA VTR은 배기 누출 감지 기술, 고압 차단 스위치 및 고급 전기 보호 장비를 갖춘 다른 시스템과 차별화됩니다. SVG VTR 시스템은 열 프로세스 효율성과 정확성을 높여주는 최고의 솔루션입니다. AVIZA VTR은 설치 프로세스를 간소화하고, 작동에 대한 신뢰성을 높이고, 효율적인 모니터링 및 제어 기능으로 열 프로세스 품질을 최적화합니다. 정확성과 정확성으로 THERMCO VTR은 재료의 열 처리에 가장 적합한 선택입니다.
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