판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9361390

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000은 다양한 재료 및 응용 프로그램에서 고품질 확산 응용 프로그램을 가능하게하도록 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 이 장비에는 확산 용광로 및 컨트롤러, 지원 랙, 가스 흐름 컨트롤러, 챔버 격리 매니 폴드, 에치/이온 소스, 냉각 시스템 및 챔버 실드가 포함됩니다. 확산 로는 최대 2000 ° C의 정확한 온도 조절을 제공하며, 다양한 매개변수를 제공합니다. 이 "컨트롤러 '는 질소," 아르곤', 형성 "가스 '및 수소 와 같은 다양 한" 가스' 로 챔버 '대기 를 조정 할 수 있다. 확산 로에는 펄스 주파수 변조 전원 공급 장치 (Pulse Frequency-modulated Power Supply) 가 있으며, 이를 통해 고급 제어를 위해 높은 램프 속도와 빠른 온도 펄스가 가능합니다. 이 랙을 사용하면 용광로 및 기타 지원 장비 (예: 가스 흐름 컨트롤러, 이온 소스, 냉각 시스템) 를 포지셔닝할 수 있습니다. SVG VTR 7000 유닛에 포함 된 가스 흐름 컨트롤러 (gas flow controller) 는 다양한 가스를 사용하여 챔버 대기를 정확하게 제어합니다. "챔버 '격리" 매니폴드' 는 대기 중 에서 "챔버 '를 분리 시키며, 누출 의 위험 없이 여러 가지" 가스' 원 을 연결 할 수 있게 한다. 에치/이온 소스는 챔버 내에 패턴 (예: 에칭 및 이온 밀링) 을 만드는 데 사용됩니다. 이온 소스는 집중 플라즈마 스트림을 만드는 데 사용되며, 이는 정확한 패턴을 형성하는 데 도움이됩니다. 냉각기는 공구의 수명을 보장하는 데 도움이됩니다. 수냉식 열 교환기는 챔버를 일관되게 유지하여 온도가 효율적으로 처리 할 수 있도록 도와줍니다. 챔버 실드 (chamber shield) 는 또한 단열에 필수적이며 열 충격 또는 방사선으로부터 챔버를 보호합니다. AVIZA VTR 7000 (VTR 7000) 은 다양한 재료와 어플리케이션에서 사용할 수 있는 강력하고 안정적인 확산 로와 액세서리 자산입니다. 최대 2000 ° C의 정확한 온도 제어 (temperate control) 기능을 제공하며, 다양한 매개변수가 고급 확산 방법에 이상적입니다. 지원 랙, 가스 흐름 컨트롤러, etch/ion 소스, 냉각 모델 및 챔버 실드는 모두이 장비를 고품질 확산 응용 프로그램을위한 완전한 시스템으로 만듭니다.