판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9354435

SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000
ID: 9354435
웨이퍼 크기: 8"
Vertical anneal furnace, 8" SMIF Carousel deck has been removed.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000은 반도체 생산 및 빠른 열 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 확산 로와 장비 액세서리입니다. SVG VTR 7000은 터치 스크린 제어, 광범위한 온도 설정 및 36 "x 20" x 21 "크기의 에너지 효율적이고 비용 효율적인 로입니다. AVIZA VTR 7000은 컴퓨터 제어 운영자 인터페이스가 장착 된 3 존 하이엔드 로입니다. 이를 통해 여러 세션 컨트롤을 사용하는 프로그래밍 가능한 시퀀싱 (programmable sequencing) 및 반복 가능한 프로세스 함수 (repeatable process function) 를 포함한 모든 기능 작업을 정확하게 제어할 수 있습니다. 사용이 편리한 제어 인터페이스 (Control Interface) 를 통해 다양한 표준 및 사용자 정의 설정을 수용하면서 작업을 단순화할 수 있습니다. 용광로는 내구성과 부식 내성 내화성 내화성 물질로 만들어졌으며, 반사 방지 블랙 마감 (anti-reflective black finish) 으로 최대 용광로 성능을 보장하고 열 손실을 최소화합니다. 또한 THERMCO VTR 7000은 내구성 있는 금속 구조와 조절 가능한 베이스로 설계되어 안정성과 정확성을 보장합니다. 오염을 방지하기 위해 어닐링 쉴드가 포함됩니다. VTR 7000에는 최대 1000 ° C의 최대 온도 설정을 가능하게 하는 수명이 긴 Quartz 난방 요소가 장착되어 있습니다. 최고 온도 설정에서도 탁월한 온도 조절을 제공할 수 있으며, 빠른 가열 및 냉각 작업을 제공하여 전체 챔버 내에서 +/- 5 ° C (+/- 5 ° C) 의 온도 균일성을 달성합니다. SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000은 또한 실험실 등급 열전대, 가스 흐름 및 온도의 시스템 모니터링, 고유 잠금 메커니즘을 갖춘 이중 도어 시스템, 긍정적 인 차단 기능이있는 내장 안전 시스템 등 다양한 추가 기능을 제공합니다. 용광로는 또한 다양한 공정 용기를 수용 할 수 있으며, 로드 센서 (load sensor) 를 사용하여 부하 중량 (load weight) 의 변화를 감지 할 수 있습니다. SVG VTR 7000 은 반도체 생산에 이상적인 솔루션으로, 다양한 기능과 장점 (예: 처리 속도 향상, 전력 소비량 절감, 안전 향상) 을 제공합니다. 용광로 (Furnace) 는 비용 효율성을 통해 탁월한 성능을 제공하도록 설계되었으며, 고객의 생산성을 극대화하고 운영 비용을 절감할 수 있도록 지원합니다.
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