판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9313214

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000은 반도체 장치의 확산 및 어닐링을 위해 특별히 설계된 확산 용광로 및 액세서리입니다. 이 확산 용광로는 빠른 열 어닐링 및 저온 확산 프로세스를 위해 설계되었으며, RTA (Rapid Thermal Annealing) 및 저온 확산을 포함한 다양한 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 두 프로세스 모두에 필요한 정확한 온도를 방출하는 고급 적외선 램프 (advanced infrared lamp) 가 특징입니다. SVTSVG VTR 7000 (VTR 7000) 에는 내장 온도 컨트롤러가 내장되어 있어 램프의 온도를 정확하게 제어하여 원하는 온도가 항상 달성됩니다. 또한, 이 확산 용광로 는 용광로 "챔버 '에 여러 가지 화합물 을 첨가 하여" 가스' 확산 을 할 수 있다. 이 "가스 '는 고속" 가스' 분포 "시스템 '을 가지고 있어서" 가스' 확산 과정 중 에 정확 하게 여러 가지 화합물 을 공급 할 수 있다. 또한 특정 공정에 대해 최대 25% 의 질소 대기를 제공 할 수 있습니다. SVTAVIZA VTR 7000에는 챔버가 빠르고 안전하게 열리고 닫힐 수있는 2 단계 도어 디자인이 있습니다. 이는 부피가 큰 도구의 필요성을 없애고, 해당 지역의 인력을 없애 안전성을 높여줍니다. & # 160; 그 에 더하여, 문 은 또한 문 이 열리면, 주 전원 공급 장치 를 "로우네이스 '로 즉시 차단 하는 고급 안전" 인터록' 장치 를 갖추고 있다. SVTTHERMCO VTR 7000에는 직관적인 터치 스크린 제어 인터페이스가 있어 구성 및 작업이 간편합니다. 리액션 챔버 (Reaction Chamber) 의 데이터를 기록하고 데이터를 분석할 수 있는 내장형 데이터 레코더 (Data Recorder) 도 포함되어 있습니다. 마지막으로, 용광로 (furnace) 에는 전원 장애 (power failure), 온도의 챔버 (chamber over temper) 또는 프로세스의 오류 (error) 와 같은 모든 문제에 대해 경고할 수 있는 경고가 내장되어 있습니다. 전반적으로, VTR 7000은 빠른 열 어닐링 및 저온 확산 프로세스를 위해 설계된 고급 확산로 및 액세서리입니다. "램프 '의 정확 한 조절 을 위한 혁신적인 적외선" 램프' 와 온도 "컨트롤러 '와 다른 화합물 의 정확 한 양 을 위한" 가스' 확산 장치 가 특징 이다. 또한 안전을위한 2 단계 도어 디자인과 간편한 구성 및 작동을 위한 직관적 인 터치 스크린 컨트롤 인터페이스 (Touch Screen Control Interface) 가 있습니다. 마지막으로, 내장형 데이터 레코더 (Data Recorder) 를 사용하면 데이터를 기록하고 분석할 수 있으며, 용광로 (Furnace) 에는 다양한 가능한 문제에 대한 경고 기능이 내장되어 있습니다.