판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9300429

SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000
ID: 9300429
웨이퍼 크기: 6"
Furnaces, 6".
SVTSVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000은 최신 재료 처리를 위해 최첨단 고급 확산 용광로 및 액세서리입니다. 실리콘, 갈륨 비소, 다이아몬드 및 기타 고온에 민감한 화합물을 포함한 물질의 빠른 열 처리 (RTP) 를 위해 설계되었습니다. 이 특정 장비는 정확도, 안전, 효율성에 대한 최고의 표준을 충족시키기 위해 개선되었습니다. SVTSVG VTR 7000은 최대 온도가 1000 ° C인 대용량 4 톤 용광로 챔버를 갖추고 있습니다. 시스템에는 독립적으로 제어되는 두 개의 온도 영역이 있습니다. 이것은 제품의 전체 표면에 대해 정확하고 일관된 온도 조절, 균일 한 가열을 제공합니다. VORC (Vari-Overhead Rate Control) 기술을 통해 사용자는 0.1 ° C의 정밀도로 챔버의 온도를 변경할 수 있으므로 새로운 재료 및 제품을 개발하기에 이상적인 도구입니다. SVTAVIZA VTR 7000은 또한 독특한 멀티 존 (Multi-Zone) 전송 메커니즘을 특징으로하여 불필요한 스트레스나 재료의 찢어짐 없이 재료의 효율적인 출입을 보장합니다. 이 고유 한 단위는 또한 용광로 내부에서 일정하고 균일 한 온도 조절을 보장합니다. 이 기계는 또한 MLE (molecular layer epitaxy) 및 ALD (atomic layer deposition) 를 포함한 다양한 초고 진공 압력 프로세스 (UVP) 를 허용하는 고급 밀폐 진공 도구를 자랑합니다. 자산에는 가스분사 (gas injection) 모델이 있어 제품에서 휘발성 가스를 완전히 제거한다. 이러한 기능 외에도 SVTTHERMCO VTR 7000에는 다양한 안전 및 통신 기능이 있습니다. 전기 용광로 및 온도 조절 장비는 전류, 잠재력, 위상 및 전원을 모니터링하고 인원과 장비의 안전을 보장하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 온도가 미리 정의된 안전 한계 (safety limit) 를 초과 할 때 인력을 경고하기 위해 청각과 시각 (auditory and visual) 인 카운터 유닛 (counter unit) 과 경보 (alarm) 가 있습니다. 전반적으로 SVTVTR 7000은 강력하고 혁신적인 확산 용광로 및 액세서리 기계입니다. 대용량 4 톤 용광로 챔버, 정밀 온도 조절, UVP 호환성 및 수많은 고급 안전 기능의 조합으로, 고급 재료 처리 및 연구 응용 분야에 이상적인 도구입니다.
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