판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9168927

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000은 반도체 기판을위한 비용 효율적인 산업용 등급 처리를 위해 설계된 확산 용광로 및 액세서리 장치입니다. 이 고급 용광로는 Patented Flux Concentration Technology와 함께 Dual-Purpose Showerhead를 사용하여 최적의 열 균일성 및 낮은 입자 오염으로 정확한 프로세스 제어를 제공합니다. SVG VTR 7000은 최대 1200 ° C의 온도에 도달 할 수있는 안정적인 고온 설계를 갖추고 있습니다. 견고한 용광로 챔버 (furnace chamber) 는 성능을 최대화하고 온도가 제어 및 일관성을 유지하도록 무거운 듀티, 고온 절연 재료로 구성됩니다. 고급 제어 (Advanced Control) 장비는 가스 흐름 속도, 압력 및 온도를 조정하여 정확한 프로세스 결과를 보장하기 위해 정확한 피드백을 제공합니다. 또한 매개변수 판독값을 표시하는 디지털 디스플레이 (digital display) 와 예기치 않은 결과가 발생할 경우 사용자에게 알릴 수 있는 알람 모니터링 (alarm monitoring) 을 제공합니다. AVIZA VTR 7000에는 비활성 가스를 사용하여 공정 온도를 최적화하는 고효율 가열 시스템이 포함되어 있습니다. 최적화된 설계는 사전 프로그래밍된 프로그램의 효율성을 높이고 장비 다운타임을 줄여줍니다. 또한, 고급 냉각 장치 (Advanced Cooling Unit) 는 열 축적을 감소시켜 잦은 온도 조정이 필요하지 않습니다. VTR 7000에는 정밀한 가스 제어 및 균일 한 가스 유통을위한 특허 가스 유통 기술도 제공됩니다. 고급 가스 제어 장치 (Advanced Gas Control Machine) 를 사용하면 가스 구성을 수동으로 조정할 수 있으며, 특정 요구 사항에 따라 미리 정해진 속도를 설정할 수 있습니다. 비활성 "가스 '공급 은 또한 깨끗 하고 믿을 만한 작동 을 보장 하기 위하여" 챔버' 에 연결 된다. 작동하기 쉬운 터치 인터페이스 (Touch Interface) 를 통해 프로세스를 쉽게 작동하고 제어할 수 있습니다. 전반적으로 THERMCO VTR 7000은 탁월한 성능과 강력한 기능을 갖춘 안정적이고 비용 효율적인 확산 로입니다. 이 장치는 고급 절연 재료 및 고급 가스 제어 시스템 (Advanced Gas Control System) 을 사용하여 균일 한 열 성능 및 향상된 공정 수율을 제공합니다. 또한, 직관적인 터치 스크린 인터페이스 (touch screen interface) 및 경보 도구 (alarm tool) 는 사용자에게 프로세스 상태에 대한 최신 피드백을 제공하며, 이 장치는 산업 확산 응용 프로그램에 이상적인 솔루션입니다.