판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9168601

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000은 박막 재료 성장을 위해 설계된 단일 챔버 수평 확산 로입니다. 이 확산 로의 최대 온도는 섭씨 2500도이며, 빠른 난방 및 냉각 주기에 대한 RTP (Rapid Thermal Processing) 기능을 갖추고 있습니다. SVG VTR 7000은 URH (Uniform Rapid Heating) 및 빠른 온도 사이클링이 필요한 응용 프로그램에 이상적입니다. 정밀하게 제어되는 열 공정 시퀀스 (thermal process sequence) 와 압력 (pressure) 을 제공하여 높은 수준의 반복성과 재현성을 제공합니다. AVIZA VTR 7000은 스테인리스 스틸 클래드 벽이있는 순수한 몰리브데넘으로 구성됩니다. 전체 크기는 10.5 "W x 10.5" L x 9.9 "H이며 스테인리스 스틸 챔버 베이스가 지원하는 9.90" W x 9.90 "L x 4.75" H의 가열 구역입니다. 대기에서 0.7 Torr까지의 압력 등급을 가지며 208V, 단상 전원 공급 장치가 필요합니다. THERMCO VTR 7000에는 빠른 속도의 단일 연결 히터와 고속 타이머 기반 컨트롤러가 포함 된 Nooter-Erickson Rapid Thermal Processing Equipment가 장착되어 있습니다. 히터는 몇 초 내에 챔버 (chamber) 를 설정 온도 수준으로 정확하고 빠르게 가열하도록 설계되었으며, 컨트롤러는 내장 (내장) 프로그램으로 온도 프로파일을 최적화하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 용광로 챔버 (furnace chamber) 와 히터 (heater) 의 과열을 방지하기 위해 2550 ° C의 자동 열 차단 스위치도 포함되어 있습니다. VTR 7000에는 세라믹 버블러 챔버 (ceramic bubbler chamber), 스테인리스 스틸 세라믹 랩 연결 및 진공 타이트 밀봉이있는 경련 배기 장치가 포함됩니다. 그 배기 "머신 '을 이용 하여 방 에서 깨끗 한 방출 을 제거 하여, 유독 한" 가스' 가 실험실 환경 에 들어오지 못하게 한다. 또한, 쿼츠 뷰 포트는 프로세스 챔버를 관찰합니다. SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000에는 디지털 디스플레이 및 디지털 세트 포인트 제어가 장착 된 고정밀 온도 컨트롤러도 있습니다. +/-3 ° C의 정확성과 +/-0.5 ° C의 반복성으로 온도를 대기압에서 0.7 Torr로 쉽게 조정할 수 있습니다. 또한 0-50 A.F. 전력, 디지털 진공 판독 장치, 방의 강제 공기 및 질소 제거 옵션도 포함됩니다. SVG VTR 7000 확산 용광로 및 액세서리를 사용하면 전통적인 생산 방법보다 정확성과 제어가 더 나은 원자층 증착 (ALD) 및 화학 증착 (CVD) 과 같은 프로세스를 허용합니다. 공정 챔버 (process chamber) 와 히터 (heater) 사이의 온도 변화를 없애고 정확성과 반복성을 가진 박막 (thin film) 을 생산할 수 있습니다. 따라서 박막 재료를 생산하는 데 안정적이고 비용 효율적인 선택이 가능합니다.