판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9158201

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SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000
판매
ID: 9158201
웨이퍼 크기: 6"
Vertical furnace, 6".
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000은 여러 애플리케이션을 위해 설계된 확산 로입니다. 이것은 반도체 장치, 태양 전지, LED 결정 및 기타 여러 제품의 제조를 용이하게하기 위해 사용되는 고온로입니다. 온도를 정확하게 제어할 수 있고, 다양한 애플리케이션 (application) 에 대해 많은 매개변수를 구성할 수 있는 기능이 있습니다. 용광로는 흑연 가열 요소를 사용하여 최대 2000C의 온도를 생성합니다. 이 고온은 빠르고 효율적인 확산 및 프로세스를 가능하게합니다. 흑연 구조는 추가 내구성과 긴 서비스 수명을 제공합니다. 용광로는 또한 허용 가능한 결과를 가진 저압 프로세스에 사용될 수 있습니다. 용광로에는 여러 개의 액세스 도어 (access door) 가 장착되어 있어 쉽게 구성하고 설치 공간을 최소화할 수 있습니다. SVG VTR 7000에는 신속한 문제 해결 및 서비스를 위한 표준 기능으로 고급 진단 및 수동 제어가 포함되어 있습니다. 표준 패키지에는 진공 펌프, 온도 컨트롤러 및 특수 흑연 승화 튜브도 포함됩니다. 용광로 (furnace) 는 에너지 효율이 높은 설계로 구성되어 운영과 관련된 전반적인 비용을 절감할 수 있습니다. AVIZA VTR 7000 은 프로세스 조건이 지속적으로 유지되고 제어되도록 지원하는 자동 Pressure Control 시스템을 갖추고 있습니다. 온도 조절기는 조정 가능하여 공정 온도를 세밀하게 튜닝 할 수 있습니다. 퍼니스에는 다양한 액세서리가 있습니다. IR 카메라는 프로세스의 여러 부분의 온화한 수준을 모니터링하는 데 이상적입니다. IR 카메라는 가열 단계를 실시간으로 모니터링할 수 있으며, 특히 미세 조정 프로세스에 유용합니다. 정확한 온도 조절에 도움이 될 수있는 몇 가지 진공 센서도 있습니다. THERMCO VTR 7000은 광범위한 어플리케이션에 적합한 강력하고 안정적인 확산 로입니다. 에너지 효율이 높은 디자인과 다양한 액세서리 (accessory) 를 통해 어떠한 제조 요구 사항에도 이상적인 선택이 가능합니다. 흑연 난방 (graphite heating) 요소는 빠르고 효율적인 프로세스를 제공하며, 수많은 액세스 포인트를 통해 쉽게 구성하고 설치 공간을 절약할 수 있습니다. 고급 진단 및 수동 제어 옵션은 신속한 문제 해결 및 서비스를 제공합니다.
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