판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #68580
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판매
ID: 68580
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1995
Anneal vertical furnace, 8"
Specifications:
Wafer size: 8"
4-Cassette load arrangement
Maximum wafer load: 160
2-Boat / single tube system
3-Zone heating element
Anti-static system
Heat deflector option
Pressure control to 2 Torr
MKS 652 pressure controller
Single disk floppy recipe system
Quartzware set
Gas system:
MFC 1: UNIT 1268A 20slm N2
MFC 2: UNIT 1268A 20slm H2
MFC 3: UNIT 1268A 20slm 10%H2/N2
MFC 4: UNIT 1268A 20slm N2
MFC 7: PORTER 200slm N2
Power requirements: 208V, 100A
1995 vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000은 고도의 정밀도 요구를 위해 설계된 확산 용광로 및 액세서리입니다. 이 장비는 엄격한 공차 요구사항과 다양한 크기로 샘플에 도달하기 어렵게 설계되었습니다. 공구 (Tool) 와 장비 제조사 (Equipment Manufacturer) 를 위한 이상적인 도구로서, 제품 제조에 있어 높은 정확성과 정밀도가 요구됩니다. SVG VTR 7000은 단일 또는 다중 난방주기를 사용하여 annealing, oxides, nitriding 및 기타 관련 프로세스와 같은 광범위한 확산 용광로 프로세스를 수행하도록 설계되었습니다. AVIZA VTR 7000에는 프로세스 효율성을 위해 다양한 기능이 장착되어 있습니다. 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 구성되었으며 고출력 RF 유도 히터 및 기타 최첨단 기술을 활용하여 샘플의 성능 및 균일 한 가열을 보장합니다. 여기에는 프로세스 매개변수 프로그래밍의 최대 유연성을 구현하는 고급 자동 프로세스 컨트롤러 (Advanced Automatic Process Controller) 가 포함됩니다. 또한 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 설정을 쉽게 조정할 수 있습니다. 이 시스템은 100% 자동화되어 있으며 어닐링, 산화, 질화, 스퍼터 증착 등 다양한 프로세스에 적합한 환경을 제공합니다. THERMCO VTR 7000은 0.1% 의 높은 정확도로 넓은 온도 범위를 제공합니다. 컴퓨터 제어 안전 장치 (Interlock), 온도 초과 사격 방지, 안전 및 에너지 효율성을 위한 냉각 방지 (Cooling Protection) 가 장착되어 있습니다. VTR 7000 의 diffuser 하드웨어는 고급 자료로 설계되었으며, 광범위한 확산 기능을 제공합니다. 탁월한 안정성과 성능을 제공합니다. 다양한 크기와 설계 (design) 를 사용할 수 있으므로 모든 애플리케이션 요구 사항에 맞게 diffuser 하드웨어를 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000은 미리 정의된 프로세스와 레시피의 포괄적인 라이브러리를 제공하여 다양한 용광로 작업을 빠르고 쉽게 설정할 수 있습니다. 또한 가장 고급적이고 정교한 애플리케이션에 대한 추가 프로세스 매개변수 (process parameter) 데이터를 쉽게 가져올 수 있습니다. 이 시스템은 고객의 운영 라인에 쉽게 통합될 수 있습니다. 유연성과 편의성을 위해 다양한 액세서리를 사용하여 도구를 구성할 수 있습니다. 여기에는 자동 로드/언로드 셔틀, 고속 사이클, 다중 온도 및 자동 도어 컨트롤러가 포함됩니다. 액세서리 패키지에는 다양한 난방 요소, 프로세스 모니터링 자산, 전원 공급 장치 등이 포함됩니다. 간단히 말해, SVG VTR 7000은 정확한 어플리케이션을 위해 설계된 첨단 기술, 효율적이고 안정적인 확산 용광로 및 액세서리 패키지입니다. 최고의 유연성, 정확한 온도, 고급 안전 및 뛰어난 사용자 정의 기능을 제공합니다.
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