판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #293811745

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000은 광범위한 어플리케이션을 위해 설계된 확산 용광로 및 액세서리 패키지입니다. SVG VTR 7000은 냉벽 설계, 고속 로딩 용량을 특징으로하며 800 ° C ~ 1300 ° C의 온도를 제공합니다. 효율적이고 사용이 간편한 인터페이스 및 자동화된 프로세스는이 장비가 도펀트 확산 (dopant diffusion), 로우-k 유전체 증착 (low-k dielectric deposition) 및 브리징 (bridging) 과 같은 어플리케이션에 적합한 선택입니다. AVIZA VTR 7000에는 높은 진공 대류 펌프 챔버가 장착되어 있어 뛰어난 프로세스 제어 및 반복 기능을 제공합니다. 확산 전구체 와 도펀트 (dopant) 는 "가스 '선 을 통해 약실 에 주입 될 수 있으며, 공정" 가스' 는 미리 설정된 압력 으로 불타 버린다. 고급 온도 및 압력 조절을 통해 THERMCO VTR 7000은 도핑 프로세스 동안 빠른 램프 업 (rapid rampup) 및 쿨다운 (cool-down) 을 허용합니다. 고속, 듀얼 스테이지 밀봉 메커니즘을 통해 웨이퍼 및 컴포넌트를 반복, 효율적으로 로드 및 언로드할 수 있습니다. VTR 7000에는 유연한 열 차폐, 온도 조절 및 조절을위한 이중 열전대, 도펀트 공급 포트, 로드 락 시스템, 로드 포트 스테이션, 비활성 가스 분사 시스템 및 진공 게이지를 포함한 다양한 액세서리가 있습니다. 증착 후 오븐도 포함되어 있으며, 다양한 온도 사전 설정 및 흑연 감지기. 이러한 모든 기능은 함께 작동하여 다양한 응용 프로그램에 적합한 안정적이고 반복 가능한 도핑 (doping) 프로세스를 생성합니다. SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000은 다양한 전자 및 반도체 어플리케이션을위한 확산 로와 액세서리를 선택할 수 있습니다. 동적 온도, 압력 제어, 효율적인 대기 제어 장치 덕분에 안정적이고, 정확하며, 반복 가능한 결과를 제공합니다. 광범위한 액세서리 (accessory) 를 통해 사용자는 특정 요구 사항에 맞게 시스템을 조정하여 품질 (Quality) 결과를 얻을 수 있습니다. SVG VTR 7000 (VTR 7000) 이 안전이나 정확성에 영향을 미치지 않으면서 안정적인 성능을 제공하도록 설계되었다는 사실을 쉽게 알 수 있습니다.