판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #293811744

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000은 다양한 반도체 재료에서 웨이퍼 처리에 사용되는 확산 용광로 및 액세서리 제품군입니다. 이 장비는 고온의 균일성 (unifority) 및 열 관리 기능을 제공하여 반도체의 고품질, 제어된 도핑 수준을 달성하는 데 이상적입니다. SVG VTR 7000의 확산 로는 완전히 밀폐 된 수냉식 설계로, 정확한 온도 조절 및 낮은 열 드리프트가 가능합니다. 고급 디지털 온도 컨트롤러는 정확한 온도 설정 및 램프 기능을 제공합니다. AVIZA VTR 7000은 또한 여러 열전대 프로브를 사용하여 용광로 내에서 균질화 된 온도를 제공합니다. VTR 7000에는 완전한 열 관리 시스템을 제공하기 위해 몇 가지 추가 구성 요소가 있습니다. 여기에는 배기 송풍기 매니 폴드, 도어 연동 장치 및 에너지 관리 시스템이 포함됩니다. 배기 송풍기는 과열 (excess heat) 을 추출하여 보다 효율적이고 균일 한 열 관리를 가능하게하도록 설계되었습니다. 도어 인터 록 (door interlock) 도구를 사용하여 용광로 내부에 대한 액세스를 제한할 수 있으므로 용광로 (furnace) 의 수명을 늘리는 동시에 인원의 안전을 보장합니다. 마지막으로, 에너지 관리 자산은 전력 소비를 줄여 보다 효율적인 운영을 가능하게 합니다. THERMCO VTR 7000은 들어오는 웨이퍼 온도를 측정하기위한 적외선 피로미터와 시각적 모니터링을위한 쿼츠 (quartz) 시청 창을 제공합니다. 또한 SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000에는 주요 반도체 제조업체의 호환 가능한 로드 및 언로드 시스템과 함께 맞춤형 작업 셀을 위한 여러 옵션이 제공됩니다. 따라서 설치가 쉽고 프로세스 효율이 향상됩니다. 결론적으로, SVG VTR 7000은 반도체 산업에서 정교한 확산 용광로 프로세스에 필요한 모든 구성 요소를 제공합니다. 고급 감지 및 제어 요소와 결합 된 듀얼 존 (dual zone) 설계 및 적외선 피로미터 (infrared pyrometer) 는 반도체 재료의 정확하고 반복 가능한 열 관리를 보장합니다. 또한, 광범위한 호환 가능한 로드/언로드 시스템을 통해 프로세스 효율성을 높일 수 있습니다. 따라서 AVIZA VTR 7000 은 최고 수준의 정확성과 효율성을 추구하는 고객에게 이상적인 선택입니다.