판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #26405

SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000
ID: 26405
웨이퍼 크기: 8"
Vertical Furnaces, Nitride, 8" w/ Carousel and Asyst, as-is.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000은 반응성 및 비 반응성 재료의 고급 증착을 위해 설계된 확산 용광로 및 액세서리 장비입니다. 정밀한 열 제어, 정밀한 온도 균일성, 빠른 주기 시간을 제공하는 완전한 열 처리 시스템입니다. SVG VTR 7000은 탁월한 확산 성능과 향상된 대기 제어 기능을 제공하도록 설계된 첨단 확산 로입니다. AVIZA VTR 7000은 3.7kW 관형 가스 연소 IR 히터와 6 개의 짧은 길이, 분할 코일 IR 히터를 특징으로하며, 이는 1 ° F에서 온도 확산을 제어 할 수있는 2 개의 4.1 "두께의 세라믹 섬유 절연 열 벽 사이에 장착됩니다. 또한 VTR 7000은 고급 PID/퍼지 로직 컨트롤러로, 다양한 어플리케이션에 대해 정확한 온도 설정, 빠른 응답 시간, 반복 가능한 결과를 제공합니다. THERMCO VTR 7000은 또한 진공 수준을 모니터링하기 위해 압력 탭핑 밸브가있는 수냉식 확산 챔버를 사용합니다. SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000에는 사용 편의성과 습식 화학과 같은 특수 프로세스를 가능하게하기위한 여러 액세서리도 포함되어 있습니다. 액세서리에는 빠른 웨이퍼 로딩, 다이오드 접촉 히터, 진공 봉인, 압력 조절 밸브, 연약 물질의 안정적인 증착을위한 자동화 된 재료 처리 장치 (automated material handling unit) 를위한 테이퍼 진공 잠금 장치가 포함됩니다. SVG VTR 7000은 뛰어난 품질과 성능을 제공하도록 설계된 고급 열 처리 기계입니다. 이 도구는 반도체, 광전자 및 광전자 장치 제작, 도자기 및 유리 제조 등 다양한 응용 분야에 이상적입니다. AVIZA VTR 7000은 또한 열 및 기계 응력 제어 테스트, 기능 필름의 화학 증발 (CVD), 기타 복잡한 연구 및 개발과 같은 다양한 맞춤형 응용 분야에 적합합니다. VTR 7000은 빠른 온도 경사 속도와 짧은 주기 시간으로 최대 2800 ° C 온도에서 확산 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 안전성을 보장하고 사고 가능성을 최소화할 수 있는 광범위한 보호 (Protection) 기능도 제공합니다. 여기에는 과전류 및 과열 보호, 열 결합 차단, 긴급 가열 차단, 시각 경보 (visual alarm) 자산 등이 포함됩니다. 또한 THERMCO VTR 7000 은 사용자 친화적이며, 운영 프로세스를 최적화하기 위해 설계된 다양한 소프트웨어 기능 및 프로그램을 제공합니다. 소프트웨어 기능의 범위에는 자동화된 프런트엔드 프로그래밍 모델, 실시간 모니터링, 사이클 시퀀싱, 여러 제품 레시피 및 일련의 사전 설정 명령이 포함됩니다. 이러한 모든 기능은 SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000을 매우 효율적이고 사용자에게 친숙한 열 처리 장비로 만듭니다.
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