판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #26401

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000은 확산 로와 액세서리이며, 특히 광범위한 온도에서 반도체의 고온 처리를 위해 설계되었습니다. 이 장비는 여러 프로그래밍 가능한 세트 포인트, 램프 속도, 퍼니스 매개 변수를 갖춘 고급 디자인, 마이크로 컨트롤러 기반 제어를 특징으로하며, 이는 매우 동적 환경에서도 정확한 열 처리를 보장합니다. SVG VTR 7000은 확산, 산화, 질화, 어닐링, 이온 이식 및 스퍼터 증착을 포함한 광범위한 프로세스를 지원합니다. AVIZA VTR 7000에는 열 절연 도어가 제공되는 견고한 스테인레스 스틸 캐비닛이 있습니다. 최대 온도가 1150 ° C 인 챔버 히터 (chamber heater) 는 수평 막대 형 차가운 벽 디자인과 함께 유닛에 통합되어 전체 진공 실에서 우수한 온도 균일성을 제공합니다. 이 시스템은 우수한 챔버 인슐레이션 (chamber insulation) 을 통합하고 고급 온도 프로파일 컨트롤을 통합하여 열 전달 효율을 최적화하도록 설계되었습니다. 퍼니스는 최대 200mm 크기의 웨이퍼 (wafer) 를 지원하며 효과적인 클로즈드 루프 (closed-loop) PID 제어 알고리즘을 사용하여 프로세스 제어 및 안정성을 보장합니다. 고급 제어 모듈은 다중 PID 및 온/오프 히터 제어, 업/다운 (up/down) 계단 제어 프로그램 및 용광로를 일정한 온도로 유지하는 백필 프로그램을 제공합니다. 퍼니스에는 챔버에서 균일 한 온도 분포를 유지하기 위해 2 모드 챔버 팬 유닛이 있습니다. VTR 7000의 배기 기계에는 고효율 필터 및 스크러버가 포함됩니다. THERMCO VTR 7000에는 또한 피로미터 (pyrometer) 와 다중 온도 센서 (template sensor) 가 장착되어 있으며, 이는 용광로 내 온도를 정확하게 측정하여 반복 가능한 결과를 보장합니다. 또한, 이 도구는 열 분해 (thermal breakdown) 의 영향을 최소화하기 위해 보호 보드로 설계되었습니다. 온보드 전원 모니터를 사용하는 SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000은 운영자의 안전성과 안정성을 보장합니다. SVG VTR 7000 은 자산의 성능을 향상시키기 위해 설계된 다양한 부가 액세서리 (accessory) 와 결합될 수 있습니다. 여기에는 아노 다이징, 냉각 시스템, 특수 제어 시스템, 공정 챔버 및 기타 여러 옵션이 포함됩니다. 이러한 액세서리를 사용하면 특정 프로세스 요구 사항을 충족하는 맞춤형 솔루션을 사용할 수 있습니다. 전반적으로 SVAVIZA VTR 7000은 자동화 된, 고온, 확산 용광로 및 액세서리 모델로, 광범위한 온도에서 균일하고 정확한 확산 처리를 가능하게합니다. 이 제품은 견고한 하드웨어, 고급 온도 조절 및 모니터링 기능, 다양한 액세서리 (accessory) 를 갖추고 있어 반도체 제조에 적합합니다.