판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #26396

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000은 고성능 확산로로, 반도체 산업의 연구 개발 실험실에 사용하도록 설계되었습니다. SVG VTR 7000 (VTR 7000) 은 안정적이고 정확한 열 프로세스를 제공하도록 설계되었으며, 공정 챔버 전체에 깨끗한 열을 전달하기 위해 저 프로파일 잠수정 히터를 갖추고 있습니다. AVIZA VTR 7000은 또한 전통적인 확산 용광로보다 상당히 나은 균일 한 열 제어 (thermal control) 를 통해 정확한 온도 조절 및 균일성을 제공합니다. THERMCO VTR 7000은 또한 최대 3500 ° C의 온도에서 작동 할 수 있으며 실리콘, 갈륨 비소, 알루미늄과 같은 재료를 퇴적시키고 에치하는 데 사용될 수 있습니다. 균일 한 열 제어를 위해 VTR 7000은 공정 챔버에 포함 된 로우 프로파일 잠수정 히터 (low-profile submersible heater) 를 갖추고 있습니다. 난방기는 고급 난방 재료를 사용하며 구성에 따라 50 ° C ~ 1500 ° C 사이의 온도에 도달 할 수 있습니다. SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000에는 균일 한 열 조절을위한 세라믹 탑, 열 전달을위한 세라믹 강화 코일, 전기 부스트 히터 등 다양한 고급 난방 구성 요소가 있습니다. 이것은 전체 공정 챔버에서 우수한 열 균일성과 정확한 열 제어를 제공합니다. 정확한 열 제어 기능 외에도 SVG VTR 7000은 고성능 진공 기능도 제공합니다. 장비는 최대 8 x 10-6 Torr의 진공 수준에 도달 할 수 있으며, 적절한 작동 온도를 달성하기 위해 최대 10-4 Torr의 챔버 압력에서 작동 할 수 있습니다. 최대 3500 ° C의 온도 범위에 도달 할 수있는 AVIZA VTR 7000은 RTP (Rapid Thermal Processing) 를 포함한 다양한 확산 프로세스를 수행 할 수 있습니다. THERMCO VTR 7000은 또한 모든 프로세스에서 사용자 안전을 보장하는 고급 안전 메커니즘을 갖추고 있습니다. 여기에는 비정상적인 온도 초과, 비정상적인 전원 수준, 기타 안전 조건에서 자동 장치 종료 (automatic device shutdown) 기능이 포함됩니다. 또한 고급 진단 (Advanced Diagnostics) 기능을 통해 장치 상태를 모니터링하고 장애 (Fault) 를 파악하여 프로세스 챔버의 추가 손상을 방지할 수 있습니다. 또한 VTR 7000 은 안정적이고 정확한 열 제어 기능을 제공할 뿐만 아니라, 고성능 냉각 기능도 제공합니다. 이것은 챔버 외부와 챔버 내부를 동시에 냉각시키기 위해 높은 속도, 저압 냉각수 (low pressure coolant) 흐름을 제공하는 이중 단계 냉각기 (dual-stage cooling machine) 에 의해 활성화됩니다. 이 도구는 또한 챔버 온도와 최적의 냉각수 순환을위한 극저온 (cryogenic feed line) 을 빠르게 균등화하기위한 빠른 반응 열 전달 천장을 특징으로합니다. 전반적으로 SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000은 정확성과 신뢰성을 위해 설계된 강력한 확산 로입니다. 고급 구성 요소 및 안전 메커니즘으로 구성된 SVG VTR 7000 (VTR 7000) 은 다양한 확산 프로세스를 위해 극한의 온도에서 작동 할 수 있습니다. 로우 프로파일 잠수성 히터, 균일성 온도 조절, 고성능 진공 기능을 갖춘 AVIZA VTR 7000 (VTR 7000) 은 반도체 업계의 연구 개발 실험실에 적합한 선택입니다.