판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 6000 #9168600

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000은 까다로운 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계된 고급 확산로 및 액세서리 패키지입니다. 이 장비는 단일 웨이퍼 (Single-Wafer) 또는 배치 처리 (Batch-Processing) 기술을 통해 시간당 최대 6000개의 웨이퍼를 수행할 수 있으므로 비용을 절감할 수 있습니다. 이 시스템은 인상적인 기능과 기능을 제공합니다. SVG VTR 6000은 혁신적인 Loaded Wafer Stacking Carousel을 특징으로하며, 턴당 최대 3개의 웨이퍼를 장착하여 처리량을 크게 늘릴 수 있습니다. 화학 발전소는 빠르고 정확한 화학 주사를 위해 설계되었으며, 정밀 웨이퍼 배치 메커니즘 (Precise Wafer Placement Mechanism) 은 웨이퍼의 정확한 정렬을 보장합니다. 챔버 전체의 정밀 온도 조절은 확산 작업 중 균일 한 비 산화 대기 (non-oxidizing atmospheres) 에 특히 유익합니다. 운영 용이성과 안전성 향상을 위해 AVIZA VTR 6000 은 고급 장애 모니터링 (fault monitoring) 및 진단 기능을 통해 설계되었습니다. 풀 컬러 그래픽 LCD 터치스크린 인터페이스를 이용하면 작동이 쉽고 실시간 프로세스 매개변수를 표시하고, 시스템 및 압력 센서 (옵션) 를 모니터링하면 포괄적인 프로세스 제어가 가능합니다. 이 장치는 또한 챔버에 존재하는 유해한 오염 물질을 감지하기위한 옵션 OES (Optical Emission Spectrometer) 를 통해 신뢰할 수있는 기계 모니터링 및 진단 기능을 제공합니다. 또한 통합 ESA (Electrical Substrate Analyzer) 는 확산 프로세스의 진행 상황을 모니터링하는 데 도움이됩니다. 사용자 편의를 극대화하기 위해 THERMCO VTR 6000은 로봇 시스템 및 웨이퍼 로드 잠금 (wafer load lock) 시스템과 통합되도록 설계되었습니다. 또한 직관적 인 소프트웨어 프로그램을 통해 사용자가 신속하게 레시피를 구성할 수 있습니다. 또한, 이 툴은 쉽게 검색할 수 있도록 최대 10,000 개의 레시피를 저장할 수 있습니다. 가동 시간을 최대화하기 위해 자산에는 케이블 프리 (Cable-Free) 연결 모델로, 유지 보수 및 수리에 소요되는 시간을 줄여줍니다. 전반적으로, VTR 6000 확산 로와 액세서리는 광범위한 어플리케이션을 위한 비용 효율적이고 안정적인 솔루션을 제공합니다. 고급 장비 설계, 포괄적인 시스템 모니터링 및 진단 기능, 직관적인 소프트웨어 프로그램, 케이블 없는 (Cable-Free) 유지 보수 장치는 안정적이고 경제적인 성능, 뛰어난 사용자 편의성을 보장합니다.