판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 6000 #293597263

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000 은 반도체 업계에서 사용되는 확산 로로, 표준 확산 로의 기능과 고급 자동화 및 사용자 정의 옵션을 결합합니다. 이 용광로는 최대 25 와트의 전력, 최대 3600 와트의 가열과 최대 1150 ° C의 온도를 제공 할 수 있습니다. 고급 컨트롤러에는 16 개의 고급 확산 (Advanced Diffusion) 및 이식 (Implantation) 프로그램이 포함되어 있으므로 사용자가 원하는 결과를 얻을 수 있도록 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. 약실 은 또한 자동화 된 "글리콜 '냉각 장치 를 갖추고 있어서, 공정 의 각 단계 에 균일 한 냉각 을 보장 한다. 챔버 (chamber) 는 베이스 (base) 와 스택 (stack) 의 두 섹션으로 구성되며 더 정확한 제어가 가능합니다. 베이스는 전자적으로 구동되며 실시간 온도, 압력 판독 (pressure reading), 온도, 압력 설정에 대한 디지털 판독 (readout) 을 표시합니다. 챔버에는 내부 관찰을위한 쿼츠 뷰 포트 (quartz viewport) 와 PLC (programmable logic controller) 에 연결하기위한 0-5 볼트 출력이 있습니다. SVG VTR 6000에는 배플 던지기 (baffle thrower) 와 콘덴서 (condenser) 를 모두 포함하는 확산 펌프가 장착되어 챔버 압력의 정확한 제어가 가능합니다. 이 고급 "펌프 '는 보다 정밀 한 재료 농도 와 더 빠른 주기 의 시간 을 위하여 환경 소음 과 진동 을 감소 시키도록 설계 되었다. "펌프 '는 또한" 프로그램' 할 수 있으며, 이 로 인해 "펌프 '는 재료 가" 챔버' 를 통과 하는 속도 를 사용자 정의 하여 원하는 수준 의 확산 을 달성 할 수 있다. 퍼니스에는 자동 중앙 프로세스 제어 시스템 (automated central process control system) 이 포함되어 있으며, 여기에는 온도, 챔버 압력 및 프로세스 단계를 모니터링하는 일련의 타이머와 경보가 포함됩니다. 이 장치 는 "레시피 '를 정확 하게 따를 수 있도록 설계 되어 있으며, 공정 이 정해진 시간 내 에 완성 된다. 기계는 또한 챔버 (chamber) 또는 그 컴포넌트 (component) 를 손상시킬 수있는 모든 프로세스 조건을 방지하기 위해 작동합니다. 또한, 중앙 공정 제어 도구 (Central process control tool) 는 약실의 산소 수준을 모니터링하여 안전을 높이는 데 도움이됩니다. AVIZA VTR 6000 은 다양한 기능과 더불어 다양한 액세서리를 제공하여 생산성 및 편리성을 높였습니다. 여기에는 자동 및 수동 웨이퍼 처리를 지원하는 캐리어 웨이퍼 (carrier wafer) 전송 자산뿐만 아니라 어플리케이션 로드 및 언로드를위한 레이디얼 퍼니스 허브 (radial furnace hub) 및 피닝 (pinning) 세트가 포함됩니다. 이 모델에는 커튼, 등급 버킷, 시메이터 및 특수 쿼츠 라이너 등 다양한 고품질 쿼츠 액세서리가 있습니다. 마지막으로 VTR 6000은 코팅 응용 프로그램을위한 추가 흑연 및 RP-CVD 부품 세트를 제공합니다. 전체적으로 THERMCO VTR 6000은 강력하고, 안정적이며, 다용도 확산 로로, 사용자 정의 및 생산성 향상을 위한 엄청난 기회를 제공합니다. 표준확산로 (Standard Diffusion Furnace) 와 고급 자동화 옵션을 결합하여, 사용자는 안전하고 효율적인 상태를 유지하면서 원하는 결과를 얻을 수 있습니다.