판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 6000 #293597262

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000은 반도체 장치의 빠른 열 처리 (RTP) 를 위해 설계된 확산 로입니다. 이 고효율적이고 신뢰성 있는 용광로 (furnace) 는 뛰어난 온도 균일성과 안정성을 갖추고 있어 다양한 반도체 처리 어플리케이션에 적합합니다. SVG VTR 6000은 진공 타이트 스테인리스 스틸 처리 챔버, 공정 가스 매니 폴드 및 백 사이드 냉각 플래튼 어셈블리로 구성됩니다. 챔버에는 하단로드 압출기가 장착되어 있습니다. 이 용광로의 고유한 기능인 밀어내기 (Extruder) 를 사용하면 다양한 프로세스 구성과 효율성을 얻을 수 있습니다. AVIZA VTR 6000 의 가스 전달 장비에는 가스 박스, 벽면 장착 압력 조절기, 비례 밸브 (Valve) 가 포함되어 있습니다. 이 밸브는 기판에 전달 할 수있는 정밀하게 제어 된 전체 범위 공정 가스를 제공합니다. 또한, 용광로에는 빠른 가열 및 냉각 주기를 제공하는 전자 온도 컨트롤러 (Electronic Temperature Controller) 가 장착되어 있어 프로세스 중단 없이 빠른 프로그래밍 및 레시피 변경을 가능하게합니다. 컨트롤러에는 간단한 그래픽 사용자 인터페이스도 있습니다. VTR 6000의 뒷면 냉각 플래튼 (backside cooling platen) 어셈블리는 3 개의 채널을 따라 전력을 분배하여 기판 전체에 수직 및 수평 온도 균일성을 제공합니다. 냉각 혈액은 온도 조절의 균일성과 정확도를 더욱 증가시켜 온도 초과 (temperature over-or under-shoot) 를 제거합니다. THERMCO VTR 6000에는 과도한 프로세스 온도로부터 보호하기 위한 고급 안전 기능 (예: 자동 종료 시스템) 이 포함되어 있습니다. 이 기능 은 특히 중요 한데, 특히 기질 과 대격변 기질 의 고장 을 방지 하기 때문 에, 안전 하고 생산적 인 작업 환경 을 유지 한다. 그렇다. 또한, SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000은 용광로 내에서 깨끗한 공기 순환을 제공하기 위해 공기 여과 장치를 특징으로하여 오염 위험을 최소화합니다. 요약하면, SVG VTR 6000은 빠른 열 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 매우 신뢰할 수있는 확산 로입니다. 효율적인 가스 전달 기계, 사용자 친화적 인 GUI를 갖춘 전자 온도 컨트롤러, 향상된 온도 균일성을 위한 뒷면 냉각 플래튼 어셈블리, 자동 종료 도구 (auto-shutdown tool) 및 공기 여과 자산 (air filtration asset) 을 포함한 고급 안전 기능이 있습니다. 탁월한 성능, 안정성 및 안전 기능을 갖춘 AVIZA VTR 6000 은 반도체 처리 애플리케이션에 이상적인 선택입니다.