판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 6000 #26404

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000은 정밀 온도 조절 및 반도체 처리 응용 프로그램을위한 중급 확산 광로 및 액세서리 패키지입니다. 이 확산 로의 최대 온도 등급은 1500 ° C이며, 폴리실리콘, 질화물 실리콘, 질화물 알루미늄을 포함한 광범위한 재료에 적합합니다. SVG VTR 6000은 정밀한 컴퓨터 제어 및 안전 기능을 갖추고 있어, 정밀한 온도 및 프로세스 관리를 지원합니다. 또한, 이 패키지에는 터보 펌프 (turbo pump) 와 추가 사용자 사용자 지정을 위한 핫/콜드 공기 흐름 콘센트 (hot/cold airflow outlet) 가 포함되어 있습니다. AVIZA VTR 6000 확산 로는 고급 세라믹 파이버 절연 및 특수 합금으로 구성되며, 고성능 응용 프로그램의 온도 극단 및 장수에 대한 내성을 보장합니다. 내부 챔버 측정에는 더 큰 용량을 수용하도록 설계된 9.5 인치 직경과 12 인치 높이가 포함됩니다. 단일 존 (Single-Zone) 디자인은 수직 대류 열을 특징으로하며, 독립적 인 조정과 제한된 공간에서 열을 지시하는 조절 가능한 고온 팬을 갖추고 있습니다. 고온 가열 요소는 고온 챔버 (high-temperature chamber) 외부에 위치하여 더 빠른 냉각 및 온도 안정화를 용이하게합니다. 이 패키지에는 직관적인 컴퓨터 기반 컨트롤러도 포함되어 있으며, 사용자는 프로그래밍 가능한 온도 프로파일을 구성하고 세밀하게 조정할 수 있습니다. 통신을 허용하고, 정확한 온도 및 프로세스 데이터, 업그레이드 가능한 레시피, 실시간 설정 지점 조정 등의 인터페이스를 제공합니다. PID (비례, 적분 및 차등) 온도 프로파일 제어 시스템은 주어진 세트 포인트에 대해 더 큰 정확성과 반복성을 보장합니다. VTR 6000에는 과열 방지 (overheat protection) 및 냉각 팬 (cooling fan) 과 같은 인력을 보호하기 위한 안전 기능이 내장되어 있습니다. 여기에는 여러 수준의 제어 및 모니터링 (monitoring) 이 포함되어 있어 용광로 온도 판독 (furnace temperature readings) 이 세트 한계에 유지되고, 가압 터보 펌프에는 공기 필터가 장착되어 있어 깨끗한 작동이 보장됩니다. THERMCO VTR 6000의 열 효율적인 설계로 열 가열이 빠르고 식습니다. 이 최소화 된 열 드리프트는 더 큰 정확성과 개선 된 프로세스 안정성을 제공합니다. 와이어 피더, 세라믹 욕조와 같은 추가 액세서리는 별도로 제공됩니다. 이 확산 용광로 및 액세서리 패키지는 확산, 산화 (oxidation), 어닐링 (annealing) 을 포함한 다용도 처리 어플리케이션을 위한 안정적이고 경제적인 솔루션입니다. SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000은 실험실, 반도체 및 광전자 제조를 포함한 광범위한 산업에서 사용할 수 있습니다.