판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 6000 #26403

SVG / THERMCO / AVIZA VTR 6000
ID: 26403
웨이퍼 크기: 6" 8"
Vertical Furnace, TEOS, 6", can be configured to 8" capability Gas system is configurable as is early 1990s vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000은 승화, 증착, 산화, 확산 및 어닐링과 같은 다양한 고온 응용을 위해 설계된 확산 용로 및 액세서리 패키지입니다. 이 패키지에는 멀티 존 (multi-zone), 쿼츠 튜브 타입 오븐 (quartz tube-type oven) 이 포함되어 있으며, 최대 1750 ° C 온도와 최대 100mbar 압력 및 고온 챔버 내에서 환경을 제어하기위한 추가 액세서리가 있습니다. SVG VTR 6000 확산은 다중 구역, 쿼츠 튜브 형 오븐 챔버 및 안전 시스템을 사용합니다. 용광로 챔버 (furnace chamber) 의 내부는 높은 알루미나 (alumina) 와 융합 된 석영 튜브 (quartz tube) 로 만들어져 균일 한 열 성능을 제공하는 반면, 포함 된 안전 시스템은 용광로가 작동 할 때 안전하고 최대 에너지 효율성을 보장합니다. 여기에는 압력 분리 (Pressure Relief) 밸브와 전원 공급 장치를 차단하기 위한 스위치 (장애 발생 시) 가 포함됩니다. 이 시스템에는 온도 프로파일 (temperature profile) 프로그램도 장착되어 있어 온도 (temperature), 램프 속도 (ramp rate), 보류 시간 (hold-time) 과 같은 미리 설정된 난방 매개변수를 프로그래밍할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 정교하고 반복 가능한 열 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 확산 용광로 외에도 AVIZA VTR 6000 확산 용광로 및 액세서리 패키지에는 가스 및 가스 유량 미터, 가스 압력 조절기, 저항 온도계, 계전기 및 센서, 대형 흡입 헤더, 유연한 압력 제어 용 벨로우, 고속 난방 요소, RS-23과 같은 다양한 추가 액세서리가 포함됩니다. 포함 된 액세서리는 사용자의 개별 요구에 맞게 조정할 수 있으며, 정확성과 효율성을 높일 수 있습니다. VTR 6000 확산로 및 액세서리 패키지는 산업 사용자에게 다양한 기능을 제공하여 다양한 승화, 증착, 산화, 확산 및 어닐링 프로세스를 수행 할 수 있도록 설계되었습니다. 공정 매개변수 (process parameter) 와 반복 가능한 결과 (repeatable result) 를 최적화하고, 안전 기능은 사용자의 안전과 최대한의 에너지 효율을 보장합니다.
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