판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 51 #293593069

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 51 확산 로와 액세서리는 반도체 제조 응용 프로그램에 사용되는 정밀 도구입니다. 표준 난방 시스템으로 최대 1300 ° C의 온도에 도달 할 수있는 고온 용광로입니다. 긴 작업 영역 (working zone) 이 있어 샘플 홀더를 유연하게 구성하고 최대 하중은 150mm입니다. 또한, 이 확산 용광로는 2 단계 디자인 덕분에 뛰어난 균일 한 난방 성능을 자랑합니다. 제 1 단계는 용광로 챔버의 균질한 가열을 보장하는 반면, 제 2 단계는 공정 매개변수의 정확한 제어를 손상시킨다. 또한, 강력하고 신뢰할 수있는 콜드 월 (cold-wall) 기술이 특징으로 선박 벽을 가동하고 제품 수율을 증가시키는 것을 방지합니다. 업계 전문가는 직관적인 소프트웨어를 통해이 확산을 모니터링할 수 있습니다. GUI 제어 난방, 냉각 및 온도 안정화 주기, 실시간 온도 표시 및 온도 매핑과 같은 여러 기능을 제공합니다. 또한 시간 프로그래밍, 온도 램프 및 높은 정확도 프로파일링을 허용합니다. 이 소프트웨어는 최대 정확도를 위해 다양한 매개변수를 모니터링, 기록 및 조정합니다. 이 확산은 반도체 제조에 많은 이점을 제공합니다. 산화, 질화 및 어닐링과 같은 웨이퍼 확산 과정을 위해 설계되었습니다. 또한 내장 카운터 밸런스 메커니즘은 아크 및 기판 벤딩을 방지합니다. 고온 한계는 프로세스 오버슈트로부터 시스템을 보호하여 제품 안정성을 향상시킵니다. SVG VTR 51 확산 로와 액세서리는 고온 프로세스에 적합한 도구입니다. 견고한 온도 조절을위한 솔리드 스테이트 (solid state) 기술을 갖춘 비교할 수없는 균일 한 난방 성능을 제공합니다. 직관적인 소프트웨어와 내장된 안전 메커니즘으로, 이 확산은 일관되게 안정적이고 정확한 프로세스 결과를 제공합니다.