판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 51 #186012

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 51은 비용 효율적인 방식으로 안정적이고 효과적인 열 확산 작업을 위해 설계된 고급 프로그래밍 가능한 확산 로입니다. 이 용광로 (furnace) 는 모든 유형의 반도체, MEM 및 관련 프로세스를 포함하는 확산 용광로 사용자에게 향상된 프로세스 제어 및 반복 성을 제공합니다. SVG VTR 51에는 열 확산 프로세스를 수행 할 때 뛰어난 유연성, 정밀성, 반복 성을 제공하는 독특한 기능 세트가 장착되어 있습니다. 용광로는 용광로 챔버, 공정 챔버, 방열판, 절연 핫 존, 조절 된 공기 흡입구 및 석영 타일 침대로 구성됩니다. 공정 챔버 (process chamber) 는 대상 재료에 대한 효율적인 열 전달을 위해 설계되었습니다. 온도는 온도를 조절하고 과열 (over-heating) 을 방지하기 위해 광범위한 센서 배열로 구성됩니다. 조절 된 공기 흡입구는 안전하고 일관된 난방을 보장하는 반면, 석영 타일은 샘플의 균일 한 온도를 보장합니다. AVIZA VTR 51에는 안전하고 안정적인 작동을 보장하기 위해 다양한 안전 기능이 있습니다. 보호 케이스, 고온 경보 및 과열 보호 기능을 제공합니다. 따라서 위험 요소를 최소화하면서 안전한 운영을 보장하고 효율적으로 보호할 수 있습니다. 고급 소프트웨어는 단계 프로그래밍 및 프로세스 모니터링과 같은 고급 기능을 제공합니다. 이를 통해 사용자는 프로세스 매개변수 (process parameters) 를 쉽게 설정하고 모니터링할 수 있으므로 확산 프로세스 (diffusion process) 에 더 나은 핸들을 제공합니다. VTR 51에는 빠른 열 처리를 위해 2 개의 통합 난방 요소가 있으며, 직경 10 인치까지 모든 유형의 기판을 수용 할 수 있습니다. 또한 최대 5 ° C/분의 온도 변화 속도로 빠른 열 사이클링 기능이 있습니다. 공정 챔버는 낮은 수준의 산소와 수분을 위해 질소 제거됩니다. 또한 균일 한 확산 처리를 위해 최대 4 개의 샘플을 보유 할 수있는 범용 랙이 있습니다. VTR 51 용 액세서리에는 열전대, 가스 라인, 배관, DI 워터 라인, 웹캠 및 모니터가 포함됩니다. 이러한 추가 구성 요소를 통해 사용자는 프로세스를 더욱 사용자 정의하고, 특정 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 결론적으로, THERMCO VTR 51은 고급 프로그래밍 가능한 확산 로로, 정밀 구성 요소와 혁신적인 기능으로 인해 뛰어난 제어 및 반복 성을 제공합니다. 고급 소프트웨어, 다중 열 소스, 질소 제거 공정 챔버, 추가 커스터마이징을위한 액세서리가 장착되어 있습니다. 이 기능은 안정적이고 효율적인 확산 로를 찾는 사람들에게 이상적인 선택입니다.