판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA TMX 2604 #293655631

SVG/THERMCO/AVIZA TMX 2604는 광범위한 확산 결합 및 웨이퍼 제조 프로세스를 제공하기 위해 설계된 다용도 및 강력한 확산 로와 액세서리입니다. 초고속 열 어닐링 (thermal annealing) 프로세스뿐만 아니라 로드가 많은 프로세스를 수행 할 수 있습니다. SVG TMX 2604는 기판 크기를 최대 300mm까지 수용 할 수 있으므로 다양한 어플리케이션에 적합합니다. AVIZA TMX 2604는 고급 프로그래밍 기능을 갖춘 통합 프로세스 제어 장비를 갖추고 있습니다. 사용자는 열 처리 (thermal process) 와 일치하는 프로세스 레시피를 손쉽게 생성할 수 있으므로, 정확하고 효율적인 작업을 수행할 수 있습니다. THERMCO TMX 2604에는 압력, 온도, 진공 및 대기와 같은 여러 프로세스 매개 변수가 장착되어 있으며, 이 모든 작업을 쉽게 모니터링 할 수 있습니다. 또한, 용광로는 소형 설치 공간으로 설계되었으며, 제한된 가스 튜브 (gassing tube), 폐쇄 루프 냉각 시스템 및 광학 배출 시스템 (optical emissions system) 과 같은 옵션 기능이 포함되어 있습니다. TMX 2604는 흑연 필라멘트가있는 확산 가열 장치를 사용하여 최대 1200 ° C의 온도를 달성합니다. 이것은 확산 결합, 웨이퍼 결합, 산화, 어닐링 및 소결과 같은 450 ~ 1200 ° C 범위의 다양한 열 프로세스에 적합합니다. 또한 통합 펌프 (pumped) 대류 기계가 장착되어 균일 한 프로세스를 달성합니다. 이 용광로는 긴급 전자스톱 스위치 (emergency e-stop switch), 가청 비상 경보 (aveable emergency alarm), 비상 차단 기능 등의 자동 안전 기능으로 설계되었습니다. 또한 여러 스마트 센서와 여러 안전 인터 록이 포함되어 있습니다. 배기 대피 도구; 정해진 온도에서 가열 과정을 자동으로 중지하는 자동 온도 제한 기능 (auto-temperature-limit feature) 입니다. 또한 SVG/THERMCO/AVIZA TMX 2604는 다양한 액세서리로 설계되어 사용자의 편의를 보장합니다. 여기에는 난방 챔버 카트가 포함됩니다. 냉각 챔버 카트; 로봇 기판 전사 암; 로봇 트랜스퍼 암; 프로세스 챔버 어댑터; 롤러 또는 조작기 팔; 그리고 압력 제어 자산. 이 용광로 는 또한 "흑연 용광로 '와 진공실 물개 와 같은 부품 들 을 유지 하기 쉽고, 그 부품 들 은 장수 와 낮은 유지 보수 를 위해 설계 되었다. SVG TMX 2604는 다양한 어플리케이션을위한 광범위한 퍼니스 (furnace) 액세서리를 갖춘 강력하고 다양한 확산 퍼니스를 제공합니다. 견고한 프로세스 제어 모델, 효율적인 난방 장비, 다양한 안전 (safety) 기능을 제공하여 높은 품질과 안정적인 프로세스를 보장합니다. 또한 AVIZA TMX 2604 는 다양한 편리한 액세서리 및 구성 요소로 설계되어 있어 다양한 제작 (fabrication) 프로세스에 이상적인 제품입니다.