판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA SVG 7000 #293747284

SVG/THERMCO/AVIZA SVG 7000은 불순물을 사용하여 전기 특성을 수정하기 위해 반도체 재료의 정확하고 균일 한 도핑을 위해 설계된 최첨단 확산 용광로 장비입니다. 이 고급로 (advanced furnace) 는 반도체 업계의 대용량 생산 환경에 이상적인 솔루션이 되는 다양한 기능과 액세서리 (accessory) 를 갖추고 있습니다. SVG SVG 7000의 핵심에는 최대 섭씨 1200 도의 온도에 도달 할 수있는 고온 공정 챔버가 있습니다. 이것 은 도펀트 원자 를 "반도체 '기판 으로 효율적 으로 확산 시켜, 제어 되고 재생 가능 한 도핑 과정 을 보장 해 준다. 이 챔버 (Chamber) 는 뛰어난 열 안정성과 가혹한 공정 조건에 대한 내성을 제공하는 고품질 석영 재료로 만들어졌습니다. AVIZA SVG 7000에는 정교한 가스 전달 시스템 (gas delivery system) 이 장착되어 공정 챔버 내부의 도핑 대기를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 비소, 인, 붕소 와 같은 여러 가지 도펀트 "가스 '를 특정 한 유속 및 농도 로 용광로 에 투입 하여" 반도체' 물질 에서 원하는 도핑 "프로파일 '을 달성 할 수 있다. "가스 '흐름 에 대한 이 정확 한 제어 는 전체 기판 표면 에 균일 한 도핑 을 보장 해 주며, 그 결과" 가스' 의 전기적 특성 이 일치 하게 된다. 이 장치는 SVG 7000 성능을 더욱 향상시키기 위해 도핑 (doping) 과정에서 용광로 온도 프로파일 (furnace temperature profile) 을 정확하게 조정할 수있는 고급 온도 조절 메커니즘을 갖추고 있습니다. 이로써, "반도체 '물질 은 효율적 인 도펀트 확산 에 필요 한 최적 의 열 상태 에 노출 되어, 예측 가능하고 믿을 만한 도핑 결과 를 얻게 된다. THERMCO SVG 7000 은 핵심 기능 외에도 다양한 액세서리 (accessory) 와 특정 프로세스 요구 사항을 충족하는 옵션 기능을 제공합니다. 이러한 액세서리에는 기판 자동 로드 및 언로드를위한 웨이퍼 처리 로봇 (Wafer Handling Robot) 과 실시간 데이터 획득 및 분석을 위한 고급 프로세스 모니터링 및 제어 시스템 (Control System) 이 포함됩니다. 또한 외부 소프트웨어와 제어 인터페이스 (control interface) 를 통합하여 기존 운영 라인에 완벽하게 통합할 수 있습니다. SVG/THERMCO/AVIZA SVG 7000은 안전성과 신뢰성을 염두에 두고 설계되었으며, 강력한 구성과 고품질 구성요소를 통해 장기적인 성능과 가동 시간을 보장합니다. 이 도구는 사용자 친화적 인터페이스와 진단 도구 (Diagnostic Tools) 를 통해 손쉽게 작동, 유지 관리할 수 있습니다. 전반적으로 SVG/THERMCO/AVIZA AVIZA 7000 확산 용광로 자산은 고출력 반도체 도핑 어플리케이션을 위한 최첨단 솔루션입니다. 생산환경에서 일관되고 재현가능한 도핑 (doping) 을 달성하고자 하는 반도체 제조업체에게는 첨단 기능, 정확한 제어 기능, 다용도 (versitility) 가 이상적인 선택이다.