판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA RVP 9000 #293804381
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ID: 293804381
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
Vertical LPCVD Furnace, 8"
Main frame
AC Transformer rack
Cable
Heater
Top core assy
Miscellaneous parts
MKS 600 Series TV Controller
MKS 628F 2 Torr C/M
Smoke detector
UPS
Cables
Gas panel (FC-7800CU):
Line / Gas / Flow rate
1 / N2 / 5 SLM
2 / He / 500 SCCM
3 / He / 500 SCCM
4 / BCL3 / He / 100 SCCM
5 / Multi / 4 -1000 SCCM
6 / GEH / 4 - 200 SCCM
7 / SiH / 4 - 200 SCCM
8 / SiH / 4 - 200 SCCM
9 / N2 / 2 SLM
10 / GEH / 4 - 200 SCCM 2 SLM
PC: EPROM
2001 vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA RVP 9000은 고급 확산 로와 관련 액세서리로, 복합 반도체 재료 및 기판의 정확한 도핑 및 확산을 위해 설계되었습니다. 다용도 기능을 갖춘 올인원 (All-in-One) 도구로서, 빠른 에칭과 폭넓은 소재의 정확한 도핑을 가능하게 합니다. SVG RVP 9000 (SVG RVP 9000) 은 확산 용광로 중 가장 최신의 제품으로, 단일 장비에 여러 기능을 제공하여, 복합 반도체 웨이퍼를 위한 효율적이고 비용 효율적인 솔루션입니다. AVIZA RVP 9000 확산 로는 고품질의 성능과 최대 유연성을 제공하도록 설계되었습니다. 핵심 기능은 현장 가역성 흑연 가열 요소로, 매우 정밀하고, 빠르고, 정확한 도핑을 제공합니다. 통합 가스 제어 모듈 (gas control module) 은 고정밀 가스 흐름 제어를 가능하게하여 다양한 도펀트 레벨로 고정밀 기판 도핑을 가능하게합니다. 또한, RVP 9000 (RVP 9000) 은 조정 가능한 온도 조절을 제공하여 온도 프로파일의 정확하고 정확한 제어를 가능하게합니다. 확산 오븐은 또한 석영 관 (quartz tube design) 을 특징으로하며, 확산 과정에서 균일 하고 심지어 가스의 흐름을 보장합니다. THERMCO RVP 9000에는 추가 액세서리, 전체 원격 제어 기능, 풀 컬러 LCD 터치 스크린 디스플레이를 통한 프로세스 모니터링 등이 포함되어 있습니다. 선택적 EPCP 시스템은 보다 강력한 제어 아키텍처를 제공하며, 정밀한 도핑 제어 및 프로세스 매개변수의 정밀한 조작을 허용합니다. 또한 SVG/THERMCO/AVIZA RVP 9000은 정밀한 가스 흐름 조절을위한 가스 전달 장치 및 최적화 된 가스 흐름을위한 가스 관리 머신과 결합 될 수 있습니다. SVG RVP 9000 (SVG RVP 9000) 은 다재다능하고 신뢰할 수있는 도구로서, 정확한 효과와 도핑이 필요할 때 다양한 프로세스에 이상적입니다. 이 확산 로 는 광범위 한 재료 를 처리 할 수 있으며, 그 결과 는 정확 하고 균일 하다. 내장된 제어 툴 (Control Tool) 은 강력하고 사용자 친화적이며, 사용자가 프로세스를 정확하게 제어하고 프로세스 매개변수를 관리할 수 있게 해 줍니다. 또한, 옵션 액세서리의 도움을 받아 AVIZA RVP 9000 을 보다 효율적으로 활용하여 수율을 향상시킬 수 있습니다.
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