판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA RVP-300 Plus #293600535

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ID: 293600535
빈티지: 2007
Vertical diffusion furnace 2007 vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA RVP-300 Plus는 반도체 및 전자 애플리케이션의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 확산 용광로 및 액세서리입니다. 정확하고 신뢰할 수 있는 이 장비는 다양한 프로세스에 최적의 환경을 구축할 수 있도록 설계되었으며, 높은 효율성을 제공합니다 (고속 wafer-to-wafer 프로세스 시간 0.8 분). SVG RVP-300 플러스 (SVG RVP-300 Plus) 는 최대 1500 ° C의 고온 프로세스에 최적화되어 있으며, 독특한 백사이드 로딩 메커니즘으로 용광로 영역 플레이트 (furnace zone plate) 를 중심으로하여 전체 웨이퍼 표면에서 정확하고 균일 한 가열이 가능합니다. 또한 AVIZA RVP-300PLUS는 파일럿 또는 생산 규모 시스템 (전체 웨이퍼에서 ± 2 ° C) 에서 사용할 수있는 가장 높은 열 균일 성을 제공합니다. SVG/THERMCO/AVIZA RVP-300PLUS는 유연한 운영 및 프로세스 통합을 지원하는 다양한 기능을 자랑합니다. 선택적 가스 전달 매니 폴드 (gas delivery manifold) 는 향상된 웨이퍼 냉각을 위해 뒷면 가스 흐름을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 수동 덮개 열림 (lid opener) 및 온도 경보는 쉽고 안전한 작동 환경을 보장합니다. 또한, RVP-300 플러스 (RVP-300 Plus) 는 전자 가스 안전 컷 오프 스위치로 설계되었으며, 용광로는 수소 및 질소 혼합물을 포함한 다양한 공정 가스로 작동 할 수 있습니다. SVG RVP-300PLUS는 조정 가능한 터치 스크린 디스플레이를 갖춘 맞춤형 리모콘 인터페이스 (Remote Control Interface) 를 통해 설계되었으며, 사용자에게 간단한 성능 피드백을 제공합니다. 로컬/원격 선택기 스위치를 사용하면 다양한 작동 모드 (예: 끄기, 낮음, 고온) 를 전환할 수 있습니다. RVP-300PLUS는 또한 펄스 모드 (Pulse Mode) 기능을 제공하여 불규칙한 프로세스 조건이 발생할 경우 온도 및 적신 시간을 제어 할 수 있습니다. 이 고급 용광로 및 액세서리 장치는 장비 성능 및 고객 만족도 향상에 대한 SVG 약속을 표시합니다. AVIZA RVP-300 Plus 머신은 정확한 온도 조절 및 균일성을 제공하며, 업계 최고의 프로세스 유연성과 사용 편의성도 제공합니다. 이 툴의 가격은 저렴하며, ROI (투자 수익) 가 높은 다양한 기능을 제공합니다. 이러한 모든 기능을 통해, THERMCO RVP-300 Plus는 반도체 및 전자 산업에서 고품질의 성능과 정밀도를 위한 최고의 선택입니다.
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