판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA RVP-300 Plus #293600533

SVG/THERMCO/AVIZA RVP-300 Plus 확산 로는 사용이 간편한 패키지에서 뛰어난 기둥 균일성과 뛰어난 전기 성능을 제공하도록 설계된 고성능 열 처리 솔루션입니다. 용광로는 직경이 최대 6 인치 인 기판 또는 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 최대 온도 등급이 1200 ° C인 6 인치 하위 바닥 핫 존을 갖습니다. 낮은 수축 석영 라이너 (quartz liner) 가있는 내구성 스테인리스 스틸 챔버 (stainless steel chamber) 로 제공되며 균일 한 형태를 보장하도록 설계되었습니다. 용광로는 또한 최대 350 ° C/minute의 조절 된 일정한 난방 속도와 최대 5e-003 Torr의 진공을 갖습니다. SVG RVP-300 Plus에는 다양한 기능이 있어 품질 결과를 보장합니다. 자동 제어 장비는 PID (비례 적분 파생) 컨트롤러, 호흡 가능한 가스 측정 모니터링, 고정밀, 온도 조절 쿼츠 히터 및 정밀 자동 가스 분사 시스템을 갖추고 있습니다. 용광로에는 정확한 온도 조절을 위해 고급 피로미터 (pyrometer) 가 장착되어 있습니다. AVIZA RVP-300PLUS에는 기능을 더욱 향상시키기 위해 다양한 액세서리가 있습니다. 용광로에는 배기 가스 관리 장치 (EMS) 가 장착되어 있어 배출량을 조절하고 에너지 비용을 줄일 수 있습니다. 선택적 crystal microscope machine은 추가 모니터링 및 성능 개선 기능을 제공합니다. 또한, 용광로 (furnace) 에는 원격지 비디오 모니터링 도구 (remote video monitoring tool) 가 장착되어 있어 용광로 및 공정을 원격으로 관찰할 수 있습니다. 또한, 퍼니스는 운영자 및 프로세스 교육, 조정 서비스, 서비스 계약 등 SVG의 다양한 기술 서비스에서 지원됩니다. AVIZA 는 또한 품질 관리 검사 (quality control check) 를 제공하며, 용광로 에 대한 예방 및 수정 유지 보수 서비스도 제공합니다. 전반적으로 AVIZA RVP-300 Plus 확산 로는 기판 및 웨이퍼를 처리 할 때 탁월한 성능을 제공하도록 설계된 최상위 제품입니다. 견고한 구성과 다양한 기능을 통해 다양한 열 처리 (thermal processing) 용도로 이상적인 선택이 가능합니다.