판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA RVP-300 Plus #293600529

SVG/THERMCO/AVIZA RVP-300 Plus는 반도체 산업에서 일하는 사람들을 위해 만들어진 고급 확산 용광로 및 액세서리입니다. SVG RVP-300 Plus 는 전체 SVG 제품군 중 가장 뛰어난 성능을 제공하며, 혁신적인 집적 회로 설계 제작을 위한 탁월한 플랫폼을 제공합니다. 독보적인 단발성 (single-shot) 을 제공하며 특정 프로세스 요구를 완벽하게 충족할 수 있도록 설계되었습니다. AVIZA RVP-300PLUS는 온도 범위, 가스 흐름, 주거 시간 등 구성 가능한 매개 변수의 전체 목록을 제공합니다. 용광로 온도는 주변에서부터 1000 ° C 까지 가열되며, 지원되는 최대 웨이퍼 크기는 직경 300 mm 입니다. 또한 웨이퍼 전체에 균일성을 향상시키는 혁신적인 프리 히트 (pre-heat) 옵션도 제공됩니다. THERMCO RVP-300PLUS에는 최대 4 개의 출력을 지원하는 potentiostat 및 제어 전자 장치가 포함되어 있습니다. 가스원은 질소, 수소, 아르곤 및 산소로 구성된 최대 12 개의 가스를 제공합니다. 용광로는 저압 에피 택시 (LOEE) 및 고급 광학 및 수동화 프로세스를 허용하는 다양한 공정 가스를 수용 할 수 있습니다. AVIZA RVP-300 Plus (AVIZA RVP-300 Plus) 는 복잡한 집적 회로를 구축하도록 최적화된 다면적인 공정 확산 로로, 다양한 고급 기능을 포함합니다. 온도와 압력과 같은 중요한 시스템 정보를 표시하는 지능형 인터페이스 (Intelligent Interface) 를 갖추고 있습니다. 이 인터페이스를 사용하면 레시피 편집, 데이터 로깅 등의 작업을 자동화할 수 있습니다. 또한 SVG RVP-300PLUS는 혁신적이고 효율적인 열 관리 시스템으로 향상된 가동 시간을 제공합니다. 또한 THERMCO RVP-300 Plus에는 프로세스를 볼 수있는 정교한 센서와 광학 창이 장착되어 있습니다. 용광로에서 전체 온도 프로파일을 시각화하는 옵션으로 PG (Pyrolytic Graphite) 필터가 있는 IR 카메라 및 시야각을 사용할 수 있습니다. 용광로에는 또한 설치 될 때 산소, 탄소 및 가스의 불활성 불순물을 평가 할 수있는 가스 분석기 (Gas Analyzer) 가 장착되어 있습니다. SVG/THERMCO/AVIZA RVP-300PLUS는 시중에서 사용할 수 있는 다재다능하고 강력한 확산 로로, 고객에게 탁월한 안정성, 효율성, 안전 및 성능을 제공합니다. 최신 기술로, 반도체 소자 성능을 향상시키고, 생산 비용을 절감할 수 있는 기능을 제공합니다.