판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA RVP-300 Plus #293600509
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SVG/THERMCO/AVIZA RVP-300 Plus는 규산화, 이온 이식 및 다이아몬드와 같은 박막 증착 공정을 위해 특별히 설계된 확산 용광로 및 액세서리입니다. 이 장비는 최고 수준의 정확성과 제어 (Control) 를 제공하면서 가장 일관된 결과를 제공하도록 설계되었습니다. SVG RVP-300 플러스 (SVG RVP-300 Plus) 는 박막 증착 (Thin Film Deposition) 과 같은 최고 정밀도가 필요한 응용 분야에 이상적입니다. 이는 80mm 서셉터에서 매우 빠른 열 램핑 속도와 우수한 열 균일성을 제공합니다. 확장 전송 영역 (Expansion Transfer Zone), 이중 영역 (Dual Zone) 기능 및 LPCVD 및 RPCVD 가스를 사용하는 기능을 통해 가장 까다로운 애플리케이션을 충족할 수 있습니다. 이 장치에는 프로그래밍 가능한 듀얼 존 (dual-zone) 전원 제어, 실시간 온도 제어 및 수동 또는 반자동 모드에서 작동하는 기능이 장착되어 있습니다. 추가 기능에는 정확하고 정확한 결과를 얻기 위해 자동 튜닝, 진공 제어 및 1 초 데이터 획득 머신이 포함됩니다. AVIZA RVP-300PLUS에는 이중 주파수 가열 도구와 견고한 링/링리스 쿼츠 도가미가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 애플리케이션에 따라 지속적인 흐름 또는 배치 처리가 가능합니다. 마지막으로, 자산의 모듈식 (modular) 설계를 통해 용량의 증가와 성능 향상을 위해 용광로의 향후 확장 또는 재구성이 가능합니다. 전반적으로, RVP-300PLUS는 박막 증착, 이온 이식 (ion implantation) 및 기타 까다로운 응용 프로그램에서 일관된 결과를 제공하면서 최고의 정확성과 제어를 제공하도록 설계된 뛰어난 확산 로와 액세소리 조합 모델입니다. THERMCO RVP-300 Plus는 듀얼 존 (Dual-Zone) 전원 제어, 1 인치의 데이터 획득 장비, 견고한 쿼츠 도가니 (Quartz Crucible) 를 통해 가장 정확한 요구 사항을 충족하고 최고 수준의 효율성을 보장할 수 있습니다.
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