판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA Evolve #9226878

SVG/THERMCO/AVIZA Evolve는 반도체 재료를 처리하기위한 고급 확산 용광로 및 액세서리 장비입니다. 현대 반도체 소자 설계의 요구를 충족시키기 위한 "연구개발 (R&D) '과 생산의 선택 도구다. 이 처리 도구는 in-situ 및 ex-situ 프로세스를 통합하여 최신 마이크로칩 (microchip) 설계 및 프로세스의 까다로운 요구 사항을 충족할 수 있습니다. SVG Evolve 시스템은 확산, 이온 이식, 산화, 질화 및 기타 프로세스에 대한 혁신적인 솔루션을 제공합니다. AVIZA Evolve 장치는 통합적이고 간단한 제어 프로세스를 가능하게하도록 설계되었습니다. 프로세스 제어를 위한 고급 프로파일 컨트롤러와 다중 영역 기능이 있습니다. 또한 그래프 제어 명령 시퀀싱, 고급 포트 프로토콜 제어, 사용자 정의 가능한 시퀀스에 대한 제품별 명령 프로토콜 등의 고급 도구를 제공합니다. 또한, 이 기계의 지능형 전원 공급 장치를 사용하여 가공 재료를 정확하게 제어할 수 있습니다. 진화 확산 로는 매우 컴팩트하고, 견고하게 제작되었으며, 탁월한 단열재와 열 차폐를 활용하여, 오염의 무시무시한 확률로 정확하고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 증발 "챔버 '와 방패 는 모두 입자 생성 을 최소화 하고 오염 가능성 을 최소화 하도록 설계 되었다. 분석 도구는 빠르고, 신뢰할 수있는 신호 분석 및 가스 감지 기능으로 정확한 결과를 제공합니다. 또한, 명령 시퀀싱 및 데이터 로깅 (data logging) 기능과 고급, 매우 정밀한 처리 제어 (processing control) 와 결합된 더 빠른 터보 확산은 빠른 프로세스 사이클을 가능하게합니다. 최첨단, 디지털 컨트롤러 (Digital Controller) 및 통합 프로세스 컨트롤러 (Integrated Process Controller) 는 확장된 출력, 명령 시퀀스 및 로깅으로 프로세스 제어를 최적화하여 포괄적인 데이터 분석을 가능하게 합니다. 또한 THERMCO Evolve 도구는 쿼츠 커넥터, 쿼츠웨어, 멀티 포트 split-nectral 어댑터 및 bell jar 시스템과 같은 다양한 액세서리와 함께 제공되어 반도체 프로세싱을위한 올인원 솔루션을 제공합니다. 또한, 이 자산은 대부분의 표준 열전대 (thermocouple) 유형 및 액세서리와 호환되므로 응용 프로그램에 다양한 선택이 가능합니다. SVG/THERMCO/AVIZA Evolve 확산 용광로 및 액세서리는 탁월한 프로세스 제어, 정밀도 및 정확성을 제공하도록 설계된 고급 솔루션입니다. 이 모델은 컴팩트한 크기, 고급 튜닝 (advanced tuning), 다중 성능 옵션, 통합 지원 (integration-ready) 설계를 통해 가장 까다로운 반도체 장치 처리 어플리케이션에 적합합니다.