판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA AVP 8000 #9168928
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ID: 9168928
웨이퍼 크기: 6"
Vertical LPCVD furnace, 6"
Process: TEOS
Chamber
Mainframe
EDWARDS iQDP80 / QMB1200 Pump
Gas manifold box
Power control unit.
SVG/THERMCO/AVIZA AVP 8000은 전문적인 등급의 확산 로와 액세서리 패키지입니다. 반도체 및 광학 장치 생산, 마이크로 일렉트로닉스, 재료 증착 공정 등 다양한 연구 및 제조 공정에 사용됩니다. SVG AVP 8000은 흑연 서셉터, CVD 챔버, 핫 존 어셈블리, 진공 차동 펌핑 시스템, 워터 바스, 조작 한 쌍 및 기타 다양한 액세서리를 갖춘 온도 조절, 도가니 타입 퍼니스로 구성됩니다. AVIZA AVP 8000 은 정밀한 온도 조절, 빠른 가열 속도, 균일하고 고품질 (high quality) 계층을 확장할 수 있도록 설계되었습니다. 온도 범위는 최대 1370 ° C이며, 정확도는 ± 2 ° C입니다. 그 견고 한 수냉식 도가니 는 도가니 같은 크기 와 모양 을 널리 지지 하며, 최대 40 "킬로그램 '의 전하 를 처리 할 수 있다. CVD 챔버는 광범위한 화학 증기 증착 (CVD) 및 화학 기계 연마 (CMP) 과정을 제공 할 수 있습니다. 그것 은 "가스 '종 들 을 안전 하고 통제 할 수 있는 일련 의 동축" 쿼츠 파이프' 로 설계 되었다. 그 에 더하여, 열 균일성 을 제공 하기 위하여 가열 된 "서셉터 '판 을 갖추고 있으며," 펌프' 를 통하여 약실 의 압력 을 조절 할 수 있다. THERMCO AVP 8000의 핵심은 핫 존 어셈블리입니다. 여기에는 캐스트 알루미늄 바디, 흑연 서셉터 및 난방 요소 어셈블리가 포함됩니다. 또한 온도의 균일성을 조절하고 단단한 열 적합성을 보장하기 위해 뛰어난 인감 (seal) 과 조절 가능한 노즐 (nozzle) 팁이 특징입니다. 마지막으로 AVP 8000 에는 일련의 조작기 (manipulator) 가 함께 제공되어 핫 존 (hot zone) 어셈블리 내에서 샘플을 정확하게 포지셔닝할 수 있습니다. 조작 장치 에는 고급 위치 판독 장치 (Advanced Position Reading System) 가 장착 되어 있어서, 표본 배치 가 쉽고 정확 하다. 전반적으로 SVG/THERMCO/AVIZA AVP 8000은 전문 등급 확산 로와 액세서리 패키지로, 온도, 압력 및 샘플 배치를 정확하고 효율적으로 제어하도록 설계되었습니다. 특히 CVD 및 CMP 응용 프로그램에 적합하며, 온도와 압력을 정확하게 제어하고, 또한 뛰어난 균일성을 제공합니다. SVG AVP 8000 은 안정적이고 효율적인 툴로서, 광범위한 연구/제조 공정에서 사용할 수 있습니다.
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