판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA 77 #293753168

SVG/THERMCO/AVIZA 77은 고급 반도체 제조 공정을 위해 설계된 확산 용광로 장비 및 액세서리 패키지입니다. 이 종합적인 솔루션은 반도체 (반도체) 업계의 고성능 응용프로그램에 대한 요구를 충족시켜 반도체 (반도체) 소재의 열처리를 정확하게 제어할 수 있도록 특별히 조정되었다. 스보그 77 (SVG 77) 시스템 핵심의 확산로 (diffusion furnace) 는 현대 전자 기기에서 발견되는 복잡한 반도체 구조를 만드는 데 필수적인 확산 과정을 용이하게하는 정교한 장비이다. 용광로 챔버 (furnace chamber) 는 확산 과정에서 발생하는 고온과 부식 환경을 견딜 수있는 고품질 재료로 구성됩니다. 이는 수요가 많은 제조 환경에서 지속적으로 작동하더라도 장치의 수명과 안정성을 보장합니다 (영문). AVIZA 77 확산 로의 주요 특징 중 하나는 고급 온도 조절 기계입니다. 이 도구는 최첨단 온도 센서 (state-of-art temperature sensor) 및 제어 알고리즘을 사용하여 용광로 챔버 전체에서 정확하고 균일한 온도 프로파일을 유지합니다. 이 수준의 제어는 반도체 (semiconductor) 프로세싱에서 일관되고 재현 가능한 결과를 달성하는 데 필수적입니다. 여기서 약간의 온도 변화조차도 최종 장치 성능에 큰 영향을 줄 수 있습니다. 온도 조절 외에도 77 개의 확산 로에는 다양한 고급 공정 가스 처리 (advanced process gas handling) 및 전달 시스템 (delivery system) 이 장착되어 있습니다. 이러 한 "시스템 '은 용광로 챔버' 내 의" 가스 '환경 을 정밀 히 제어 하여 확산 과정 에 필수적 인 "도판트' 및 기타 반응 있는" 가스 '를 도입 할 수 있게 해 준다. 공정 "가스 '의 유동 속도 와 압력 을 정확 히 제어 함 으로써, 높은 효율성 과 재생성 으로 확산 과정 이 수행 된다. 또한 THERMCO 77 자산에는 확산 로의 작동을 지원하기 위해 종합적인 액세서리 및 주변 장치 제품군이 포함되어 있습니다. 이러한 액세서리에는 가스 흐름 컨트롤러, 질량 흐름 컨트롤러, 진공 펌프 (vacuum pump) 및 모델의 원활한 작동을 보장하는 데 필요한 기타 필수 구성 요소가 포함될 수 있습니다. 또한, 이 장비는 고급 제어 소프트웨어 (Advanced Control Software) 와 통합되어 용광로 작동을 모니터링하고 제어할 수 있는 사용자에게 친숙한 인터페이스를 제공합니다. 전반적으로 SVG/THERMCO/AVIZA 77 확산 로 및 액세서리 패키지는 반도체 제조업체가 고정밀 확산 프로세스를 수행하기 위해 신뢰할 수 있고 다양한 솔루션을 제공합니다. 고급 온도 조절 시스템, 정밀한 공정 가스 처리 기능, 종합 액세서리 (accessory) 를 갖춘 이 장치는 최신 반도체 제조 공정의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 연구 개발 (Research and Development) 이나 대용량 생산에 사용되든, SVG 77 머신은 반도체 제조업체에 최적의 성능을 달성하고 반도체 장치를 생산하는 데 필요한 도구를 제공합니다.