판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA 77 #293753167

SVG/THERMCO/AVIZA 77은 마이크로 전자 산업에서 반도체 재료의 고온 처리를 위해 설계된 최첨단 확산 로입니다. 이 고급 퍼니스 (Advanced Furnace) 장비에는 다양한 혁신적인 기능과 액세서리가 장착되어 있어 열 처리 조건을 정확하게 제어할 수 있으며, 탁월한 품질과 안정성을 갖춘 고성능 반도체 (HPD) 장치를 생산할 수 있습니다. SVG 77 확산 로의 핵심은 강력하고 효율이 높은 수직 튜브 (vertical tube) 설계로 반도체 웨이퍼의 균일 한 난방 및 열 처리를 가능하게합니다. 튜브의 수직 방향 (vertical orientation) 은 웨이퍼 표면에서 우수한 가스 흐름 역학 (gas flow dynamics) 과 온도 균일성을 가능하게하여 일관되고 재현 가능한 처리 결과를 초래합니다. AVIZA 77 확산 로에는 고급 난방 요소 및 온도 조절 시스템 (온도, 경사 속도, 적신 시간 등) 이 장착되어 있어 프로세스 매개변수의 정확한 조절이 가능합니다. 이 수준의 제어는 확산 과정을 최적화하고, 균일 한 도펀트 (dopant) 분포를 보장하며, 반도체 재료에서 원하는 전기 특성을 달성하는 데 필수적입니다. 정교한 난방 (heating) 및 온도 조절 기능 외에도, THERMCO 77 확산 퍼니스는 열처리 중 프로세스 가스의 정확한 도입 및 제어를 용이하게하는 포괄적 인 가스 전달 및 모니터링 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치에는 질량 흐름 컨트롤러, 압력 조절기, 가스 분석기 (Gas Analyzer) 가 포함되어 있으므로 전체 공정 주기 동안 정확하고 일관된 가스 흐름 제어가 가능합니다. 77 확산 (diffusion) 로의 성능과 다양성을 더욱 향상시키기 위해 다양한 액세서리 (accessory) 와 옵션 (옵션) 기능을 통해 특정 프로세스 요구 사항과 애플리케이션 요구를 충족할 수 있습니다. 이러한 액세서리에는 웨이퍼 처리 시스템, 로드 잠금 (load lock), 프로세스 가스 정화 시스템, 프로세스 자동화 및 데이터 로깅을위한 소프트웨어 인터페이스가 포함될 수 있습니다. SVG/THERMCO/AVIZA 77 확산 로는 대용량 반도체 제조 환경의 엄격한 요구 사항을 충족할 수 있도록 설계되었으며, 다양한 프로세스 어플리케이션을 지원하는 안정성, 효율성, 유연성이 결합되어 있습니다. 도핑 (doping), 어닐링 (annealing), 산화 (oxidation) 또는 기타 열 처리 단계에 사용되든, 이 고급 용광로 기계는 일관되고 안정적인 결과를 제공하므로 뛰어난 성능 특성을 가진 고품질 반도체 장치의 생산에 기여합니다. 요약하면, SVG 77 확산 로는 반도체 제조를위한 최첨단 열 처리 솔루션으로, 고성능 반도체 장치의 생산을 지원하기 위해 정확한 제어, 고급 기능, 다양한 액세서리를 제공합니다. 수직 튜브 설계, 정교한 난방 요소, 종합 가스 전달 도구, 액세서리 (옵션) 를 갖춘 이 퍼니스 자산은 마이크로일렉트로닉스 업계의 효율성, 안정성, 프로세스 제어에 대한 새로운 표준을 마련했습니다.