판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA 5204 #9390666

SVG/THERMCO/AVIZA 5204는 다양한 산업 애플리케이션의 요구를 충족하도록 설계된 고온, 확산 로 및 액세서리 패키지입니다. 이 장비는 흑연 난방 요소 (graphite heating element), 전원 공급 장치 시스템 (power supply system) 및 향상된 제어 및 모니터링을위한 액세서리 (accessory) 가 통합 된 소형 열 챔버로 구성됩니다. SVG 5204는 견고한 스테인리스 스틸 및 vesuvium 구조로 만들어진 고온 확산 로입니다. 최대 1000 ° C의 온도에서 안정적인 프로세스 크리티컬 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 다양한 프로세스 가스와 호환되며, 최대 직경 4.00 인치 (10.2cm) 의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 기계는 열 챔버 내에 포함 된 흑연 가열 요소를 사용하여 안정적인 저항 가열을 사용합니다. 원소는 수냉식 내부 벽에 의해 보호되어 용광로 온도를 줄이고 장수를 향상시킵니다. 이 장치에는 전원 공급 장치 (Power Supply Tool) 가 제공되며, 내구성 있는 제어 전자제품과 더 큰 제어를 위한 운영자 인터페이스가 있습니다. AVIZA 5204 액세서리를 사용하면 에셋 기능을 최대한 활용할 수 있습니다. 액세서리 패키지의 특징으로는 열 절연 담요, 샘플 챔버 보기 용 쿼츠 바이저, RF 필터, 배기 플랜지 등이 있습니다. 플랜지 (flange) 는 외부 가스 모델의 직접 연결을 허용하는 반면, RF 필터는 열 챔버에서 초과 RF 신호를 제거하여보다 정확한 제어를 허용합니다. 또한, 이 장비에는 가스 제어 모니터, 가스 흐름 미터 (gas flow meter) 및 일관된 가스 흐름 및 압력 모니터링을위한 압력 진공 게이지 (pressure vacuum gauge) 도 제공됩니다. 액세서리 패키지에는 2 개의 검출기 포트, 쿼츠 벨 장 (quartz bell jar) 및 지원 하드웨어 및 샘플 증가를 위해 도가니 형 쿼츠도 포함됩니다. 5204 열확산로 (Thermal Diffusion Furnace) 및 액세서리 패키지는 많은 업계의 온난화 요구에 맞춰 안정적이고, 정확하며, 비용 효율적인 올인원 솔루션입니다. 견고한 스테인리스 스틸 (Stainless Steel) 과 베수비움 (Vesuvium) 구조, 흑연 난방 요소 및 종합 액세서리 패키지를 갖춘 이 시스템은 뛰어난 성능과 장기적인 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다.