판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA 5204 #9226092

SVG/THERMCO/AVIZA 5204 (SVG/THERMCO/AVIZA 5204) 는 다양한 산업에서 사용되는 웨이퍼와 기판에 재료를 적립하도록 설계된 확산 용광로 및 액세서리 장비입니다. 이 고급 시스템은 증착 과정에서 균일 한 온도 분포를위한 가스가 가열 된 가스가있는 수직 장착 스테인레스 스틸 쿼츠 튜브 (stainless steel quartz tube) 와 신뢰할 수있는 기계적 압력 제어 장치 (mechanical pressure control unit) 및 가스 혼합 시설을 갖추고 있습니다. 배기 장치 (옵션) 는 잠재적 오염 물질이 샘플에 배치되지 않도록 설계되었습니다. 수평으로 장착 된 석영 튜브는 빠른 공정 시간과 낮은 기판 온도를 용이하게합니다. 통합 석영 재순환 "펌프 '는 가열 된" 가스' 를 매우 정확 하게 기판 으로 인도 하고 열 구배 를 최소화 하도록 설계 되었다. 고급 챔버 벤트 (chamber vent) 도구는 증기를 안전하게 제거하여 가스 농도를 줄이는 데 도움이됩니다. "가스 '혼합 시설 은 정밀 비례" 밸브' 와 전용 "가스 매니폴드 '를 가진 통합" 버블러' 자산 으로 구성 되어 증착 과정 에 필요 한 깨끗 하고 조종 된 "가스 '의 대기 를 제공 한다. 민감한 샘플은 SVG 5204의 위치 웨이퍼 홀더, 리프트 핸들 및 조절 가능한 냉각 플레넘 (plenum) 으로 안전하게 처리됩니다. 표본 "홀더 '를 높이 와 각도 에 맞게 쉽게 조정 할 수 있으므로" 샘플' 을 가능 한 한 완벽 하게 가열 한다. "웨이퍼 '홀더 들 은 가열 된" 가스' 의 균등 한 분포 를 보장 하는 "샘플 '에 대한 최소 의 압력 을 준다. 외부 마운트된 컨트롤러 (옵션) 에는 프로세스가 정확하고 정확하게 수행되도록 하는 마이크로프로세서가 포함되어 있습니다. 컨트롤러의 터치스크린 디스플레이 (Touchscreen Display) 를 통해 모델의 모든 기능을 직접 조작하여 사용자에게 최대의 프로세스 제어를 제공합니다. 또한 프로세스를 더욱 단순화하고 효율성을 높이기 위해 사전 설정된 프로그램이 있습니다. 전반적으로 AVIZA 5204 는 고성능 확산 로와 액세서리 (accessories) 장비로, 다양한 업종의 증착 요구를 충족시킬 수 있습니다. 정밀 가스 분배 및 온도 조절 (temperature control) 은 가장 민감한 표면에 대한 균일 한 결과를 보장하는 반면, 컨트롤러 (controller) 및 자동 프로그래밍 옵션의 사용 편의성은 효율성을 높이고 폐기물을 줄이는 데 도움이됩니다.