판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA 5200 #9225999

SVG/THERMCO/AVIZA 5200 확산 로는 견고하고, 안정적이며, 다목적 확산 로로, 수년 동안 중단되지 않고 뛰어난 확산 처리 성능을 제공하도록 설계되었습니다. SVG 5200은 모든 확산 단계에서 정확한 온도 조절을 제공하여 프로세스 수율을 향상시킵니다. AVIZA 5200에는 고유하고 특허를받은 Vertical Steel Framed Hot Zone이 장착되어 있으며 최대 4 개의 800mm ² 웨이퍼 캐리어를 동시에 처리 할 수 있습니다. 이 혁신적인 설계를 통해 대규모 생산이 가능해져 시간이 더 빨라집니다. 용광로에는 또한 PECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) 키트가 포함되어 있으며, 우수한 품질의 저결함 확산 층을 생성하여 수율이 더욱 높아집니다. 용광로는 매우 유연하며, 다양한 웨이퍼 크기 (직경 25mm) 를 수용 할 수있는 용량이 있습니다. 이 기능을 사용하면 운영자가 웨이퍼를 전송하거나 설정을 조정하지 않고도 처리량이 높아질 수 있습니다 (영문). 사용자 친화적인 컨트롤러는 설정과 매개변수가 직관적이고, 정확하게 입력, 유지되도록 하며, 운영자의 개입을 최소화합니다. 최대 안전성을 보장하기 위해, 5200 확산 퍼니스에는 fail-safes, open lid detection, security system 등 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 또한 뛰어난 열 성능 및 환경 보호 기능을 제공하여 핫 존에서 ± 1 ° C, 쿨 존에서 ± 0.1 ° C 의 온도 정확도를 유지합니다. THERMCO 5200 확산 로의 추가 기능에는 멀티 프로그램 저장 및 리콜, 구성 가능한 레시피, 수동 또는 자동 작동, 다중 난방 속도 옵션, 시스템 모니터링 소프트웨어 등이 있습니다. 이 용광로 (furnace) 는 사용자가 최첨단 설계, 뛰어난 소재, 탁월한 엔지니어링 기능을 통해 최상의 품질의 결과를 얻을 수 있도록 설계되었습니다.