판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA 5000 #9195863

SVG/THERMCO/AVIZA 5000은 반도체 제조를위한 고성능 확산 로와 액세서리입니다. 용광로는 통제 된 확산, 어닐링 및 산화 과정을 위해 설계되었습니다. 고급 퍼니스 (Furnace) 설계 및 프로세싱 유연성을 갖추고 있으며, 전체 열 질량에 걸쳐 정밀 온도 조절 및 탁월한 온도 균일성을 제공합니다. 가열 된 빌렛 트랜스퍼 챔버 (billet transfer chamber) 를 갖춘 고급 이중 챔버 (dual-chamber construction) 는 열 환경의 최대 단열과 제어 및 뛰어난 프로세스 균일성을 제공합니다. SVGTSVG 5000에는 하나의 도가니 삽입 및 등열 재킷 (Isothermal Jacket) 으로 둘러싸인 고성능 서셉터 (susceptor) 가 장착되어 있어 정밀한 온도 조절 및 열 파울 감소. 용광로에는 자동 및 수동 펌핑 시스템, 전자 제어 비활성 가스, 고급 온도 및 압력 모니터링 기능이 포함됩니다. 퍼니스는 또한 5 구역 프로그래밍 가능한 히터를 갖추고 있으며, 최대 2000 ° C의 정확한 온도 조절이 가능합니다. 가열 구역은 3 개의 내부 구역 (inner zone) 과 2 개의 외부 구역 (outer zone) 으로 나뉘어 최적의 온도 균일성과 제어 기능을 제공하며 그라디언트가 줄어 듭니다. 독립적으로 조절 가능하고 프로그래밍 가능한 내부 영역 (inner zone) 은 열 전송 시간을 줄이고 더 일관된 성능을 내기 위해 설계되었습니다. 용광로에는 고급 안전 모니터링 (Advanced Safety Monitoring) 및 경보 기능 (PID 온도 조절 및 과온 보호 등) 과 같은 다양한 추가 프로세스 기능이 포함되어 있습니다. 또한, 퍼니스에는 산소 제거/환원 시스템이 포함되어 산화 과정을 효과적으로 제어 할 수 있습니다. 반복 가능한 성능과 일관성 있고 안정적인 결과를 얻기 위해, 용광로는 고급 인슐레이션 (insulation) 및 냉각 시스템 (cooling system) 으로 제작되었습니다. 이 공사에는 에폭시 (epoxy) 로 채워진 이중 모듈 식 절연 챔버 및 온실 질량 전체에 균일 한 냉각을 제공하는 통합 PCR 냉각 시스템이 있습니다. 인슐레이션은 프로세스 챔버 (process chamber) 및 효율적인 냉각 (cooling) 내에서 더 나은 온도 균일성을 제공하므로 높은 온도 설정에서도 프로세스 성능을 재현할 수 있습니다. 다양한 고급 프로세스 기능, 직관적인 프로그래밍 및 제어 기능, 자동화된 웨이퍼 처리 시스템, 온라인 모니터링 및 진단 기능 (Online Monitoring and Diagnostics) 을 제공하는 대형 터치스크린 인터페이스를 통해 용도가 간편합니다. 사용자 인터페이스 (User Interface) 는 레시피를 손쉽게 생성, 모니터링, 조정할 수 있게 해주는 직관적인 컨트롤 및 디스플레이를 통해 사용 편의성을 위해 설계되었습니다. 이 용광로 (furnace) 는 까다로운 생산 및 연구 응용프로그램을 위해 설계되었으며, 빠르고, 반복 가능하며, 신뢰할 수 있는 성능을 제공합니다.