판매용 중고 SVG / THERMCO 5200 #9411904

SVG / THERMCO 5200
ID: 9411904
웨이퍼 크기: 6"
Diffusion furnaces, 6".
SVG/THERMCO 5200은 재료 엔지니어 및 기타 과학 전문가가 세라믹 및 유리 부품, 반도체 기판 및 기타 화합물에 이르기까지 다양한 재료를 처리하기 위해 사용하는 확산 용광로 및 액세서리 장비입니다. 이 시스템에는 다양한 재료에 대해 벌크 동종, 총 및 레이어 별 확산 프로세스를 생성 할 수있는 멀티 존 (multi-zone) 용광로가 포함되어 있습니다. 또한 가공 중인 물질에 "가스 '확산을 돕는 진공 장치 (vacuum unit) 도 포함되어 있습니다. SVG 5200 은 멀티 존 (multi-zone) 설계를 활용하여 광범위한 애플리케이션을 지원하는 고급 확산 로입니다. 용광로 자체는 정밀 제어 내화성 난로와 중량 모듈 식 강철 프레임으로 구성됩니다. 난로는 멀라이트 (mullite) 로 늘어선 다음 알루미나 섬유 절연 (alumina fiber insulation) 으로 덮여 저손실 작동 및 저열 구배를 유지합니다. 이것 은 대기 나 공기, 질소 혹은 "아르곤 '대기, 진공 확산 과 같은 더 넓은 범위 의 확산 과정 을 가능 케 한다. 이 외에도, THERMCO 5200 (THERMCO 5200) 은 다양한 대기의 대기를 시뮬레이션하는 데 사용될 수 있으며, 온도 범위는 여러 개의 개별 구역으로 나뉘어 있으며, 서로 다른 재료의 확산을 수용하도록 조정 할 수 있습니다. 또한 5200에는 최대 10-6 torr (압력) 을 만들 수있는 강력한 진공기가 제공되며, 10-4 torr의 진공 수준에 도달 할 수있는 여러 개의 펌핑 스테이션이 있습니다. 이 도구에는 고급 제어 에셋 (advanced control asset) 이 있으며, 이를 통해 운영자는 용광로 대기 및 온도를 모두 제어하여 정확하고 고품질 확산 프로세스를 보장 할 수 있습니다. 또한 SVG/THERMCO 5200에는 온도, 압력 범위, 흐름 속도, 압력 속도를 측정, 기록 할 수있는 고급 모니터링 모델이 장착되어 있습니다. 이 장비에는 비활성 가스 정화 시스템 (inert gas purification system) 과 수냉식 장치 (water cooling unit) 가 포함되어 온도 변동성을 줄입니다. 전반적으로 SVG 5200은 정확한 확산 공정이 필요한 모든 재료 엔지니어링 (materials engineering) 또는 과학 공정에 적합한 선택입니다. 다중 영역 광로 (multi-zone furnace), 진공기 (vacuum machine), 고급 제어 및 모니터링 시스템은 모든 과학적인 응용프로그램에서 뛰어난 성능과 프로세스 제어를 보장합니다.
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