판매용 중고 SVG / THERMCO 5200 #9250085

SVG/THERMCO 5200 확산 퍼니스 (Diffusion Furnace) 는 정확하고 균일한 두께의 웨이퍼를 만드는 데 매우 효율적이고 안정적인 도구입니다. 완전 자동화된 이 용광로 (fully automated furnace) 는 와퍼 (wafer) 생산 프로세스를 사용자 정의하기 위한 다양한 액세서리를 제공하여 생산 요구 사항을 최대한 정확하고 정확하게 충족할 수 있도록 합니다. SVG 5200은 CVD (chemical vapor deposition) 및 CMP (chemical-mechanical planarization) 프로세스에 완벽한 대기를 제공하는 고급 영역 온도 제어 시스템을 갖춘 단일 구역 용광로입니다. 이 용광로는 최대 1000C의 온도를 달성 할 수 있으며, 전체 구역에서 균일하고 안정적인 온도가 유지됩니다. 최대 정확성을 위해, THERMCO 5200에는 지속적인 모니터링을위한 광학 쿼츠 창 (optical quartz window) 과 새로운 웨이퍼를 생산하는 동안 최적의 수준의 순도 및 추적성을 보장하는 가스 흐름 검출기 시스템 (gas flow detector system) 이 장착되어 있습니다. 또한 5200은 구성 기능이 뛰어나 여러 프로세스 매개변수를 조정할 수 있습니다. "가스 '의 흐름 이나" 어닐링' 분위기 의 압력 을 변화 시킴 으로써 "웨이퍼 '에 원하는 두께 와 광학 특성 을 얻을 수 있다. SVG/THERMCO 5200의 고온 균일 성을 유지하기 위해, 퍼니스에는 능동 수냉식 확산 라이너가 장착되어 있습니다. 라이너는 전체 어닐링 존 (annealing zone) 전체에서 일관되고 꾸준한 온도를 제공하여 최적의 결과를 보장합니다. 더 낮은 열 그라디언트의 경우, 흑연 인슐레이션 덮개 (옵션) 도 설치할 수 있습니다. 온도 조절 외에도 SVG 5200은 압력 모니터링, 외부 가스 제어, 산소 고갈 제어 (oxygen depletion control) 와 같은 고급 프로세스 제어 기능도 갖추고 있습니다. 즉, 사용자는 프로세스를 철저하게 제어할 수 있고, 오염이나 다른 운영 장애에 대한 위험을 줄일 수 있습니다. THERMCO 5200은 쿼츠 서셉터, 쿼츠 리프트 핀, 이동식 흑연 지그를 포함한 전체 액세서리 배열과 호환됩니다. 5200 확산 퍼니스 (Diffusion Furnace) 는 고품질의 균일 한 웨이퍼 생산을 위한 효율적이고 안정적인 어닐링 솔루션을 제공합니다. 최고 온도 조절 시스템 (Top-Tier Temperature Regulation System) 을 사용하면 웨이퍼가 가장 정확하고 정밀하게 생성된다는 사실을 알 수 있습니다. 다양한 구성 옵션과 다양한 옵션 액세서리 덕분에 SVG/THERMCO 5200은 성공적인 웨이퍼 (Wafer) 생산 프로세스에 필요한 다양한 기능과 최적화를 제공합니다.