판매용 중고 SVG / THERMCO 5100 #9411905

SVG/THERMCO 5100은 다양한 어려운 열/화학 처리 응용 분야에 이상적인 확산 용광로 및 액세서리 장비입니다. 인상적인 기능을 갖춘 SVG 5100 은 프로세스 효율성을 안정적으로 극대화하고, 일괄 처리 (batch unifority) 를 향상시키며, 주기 시간을 단축할 수 있습니다. THERMCO 5100 시스템의 본체는 전원 공급 장치, 펌프 및 고진공 챔버로 구성됩니다. 2 도어 캐비닛에 장착된 전원 공급 장치 (전원 공급 장치) 는 정밀한 온도 조절을 가능하게 하며, 정밀한 실시간 온도를 제공합니다. 메인 챔버 내부에 있고 뷰 포트 (viewport) 를 통해 볼 수 있는 펌프 (펌프) 는 최대한의 신뢰성을 제공하며 원하는 프로세스 매개변수에 도달하도록 합니다. 챔버 내부에 펌프 스테이션을 추가로 설치할 수 있으므로, 사용자는 최대 3 세트의 펌프를 가질 수 있습니다. 결과적으로 5100은 전체 챔버 전체에서 우수한 온도 균일성을 보여줍니다. SVG/THERMCO 5100 유닛은 또한 많은 고급 액세서리를 제공하여 성능을 향상시키고 프로세스를 간소화합니다. 예를 들어, 다양한 모듈식 웨이퍼 캐리어 (wafer carrier) 가 있어 웨이퍼를 빠르고 안전하게 적재 및 언로드할 수 있습니다. 또한 수동 조정 가능 밸브 (manually adjustable valve) 및 자동 컨트롤러 (automatic controller) 및 필요한 경우 비활성 대기 제어 머신을 포함한 여러 진공 제어 옵션이 있습니다. 마지막으로, 별도의 전원 공급 장치가 있는 쿼츠 램프 홀더 (옵션) 를 사용할 수 있으므로 챔버 내부에 조명을 설치하여 웨이퍼 처리를 볼 수 있습니다. 이러한 기능을 결합하여 SVG 5100은 신뢰할 수 있고 효율이 높은 확산 용광로 및 액세서리 도구입니다. 정확한 온도 조절, 웨이퍼 캐리어 (wafer carrier), 진공 제어 옵션 및 지원 액세서리를 통해 사용자는 특정한 요구에 맞게 자산을 사용자 정의할 수 있습니다. 이렇게 하면 처리량이 높아지고, 결과가 더 안정적으로 나타납니다.