판매용 중고 SVG / THERMCO 5100 #9265353

SVG/THERMCO 5100은 SVG, Inc.designed에서 만든 확산 로와 액세서리로, 웨이퍼 확산 프로세스를 정확하게 제어합니다. 이 도구는 연구 개발 (R&D) 과 고온 확산 및 어닐링 프로세스에 사용되는 고급 랩 시스템입니다. 고온 기능, 정밀한 온도 조절, 다중 구성 등 다양한 기능을 자랑하는 "다중 영역 (multi-zone) '수평로입니다. 이 수평로는 내부 절연 껍질, 외부 케이스 구조 및 다중 영역 난방 섹션으로 구성됩니다. 또한 효과적인 벨로우 작동을위한 리프트 오프 커버 (LFC) 와 벨로우 메커니즘 및 탁월한 균일 성 제어가 포함됩니다. LFC는 낮은 입자 수와 균일 한 공정 온도를 보장하기 위해 작동합니다. SVG 5100에는 CRIUS 디지털 컨트롤러 및 PLC (programmable logic controller) 가 장착되어 있어 정확한 실시간 온도 제어를 제공합니다. CRIUS 디지털 컨트롤러 (CRIUS digital controller) 는 주요 온도 설정의 설정 및 모니터링과 용광로의 실제 작동 매개변수의 실시간 판독값을 허용합니다. PLC는 균일성 (unifority) 및 반복 (repeat) 데이터에 대한 프로세스 조정을 제공하고 용광로에 필요한 열 프로파일을 설정합니다. 이 용광로에는 전체 웨이퍼 너비에 걸쳐 온도 균일성을 위해 2 개의 적외선 석영 요소가 포함 된 가열 존 (heating zone) 이 있습니다. 또한 전기 안전 연동 (Electrical Safety Interlock) 이라고하는 보호 요소로, 도구의 우발적 손상을 방지합니다. 마지막으로, 정교한 온도 조절 모듈은 가열 된 영역 전체의 온도의 균일성을 더욱 최적화합니다. THERMCO 5100에는 용광로 수명을 향상시키기 위해 설계된 환경 안전 제어 기능도 있습니다. 비활성 "가스 '제거 장치 는 질소," 아르곤', 수소, "헬륨 '또는 다른 비활성" 가스' 를 도입 하여 산화 와 오염 으로부터 효과적 으로 보호 해 준다. 이 시스템은 장기간 동안 가장 높은 수준의 안전, 청결, 프로세스 반복성을 보장합니다. THERMCO, Inc.의 경제적이고 효율적인 고온 확산 및 어닐링 도구는 반도체 패키징, MEMS, 나노칩 (Nanochip) 통합과 같은 대용량 어플리케이션에 대해 매우 수용 가능한 웨이퍼 균일성과 정확성을 생산하는 데 이상적입니다. 신뢰성 있는 온도 조절, 뛰어난 공정 반복 능력, 환경 안전 (Environmental Safety) 기능을 통해 5100은 품질과 정밀도가 가장 우려 할 때 연구 개발 실험실에 적합한 선택입니다.