판매용 중고 SVG / THERMCO 5100 #9265352

SVG/THERMCO 5100은 초고순도, 정밀로 성능을 제공하도록 설계된 확산 로입니다. 재생 가능한 프로세스 균일성 (reproducible, tight process uniformity) 및 신속한 프로세스 주기 (rapid process cycle) 를 수행하는 데 이상적인 선택입니다. SVG 5100 은 7 개의 존 (zone) 으로 구성된 수상 경력에 빛나는 설계로, 완전한 웨이퍼 처리를 위해 개별적으로 제어하거나 프로그래밍할 수 있습니다. 7 개의 존 (zone) 은 작은 웨이퍼에서 큰 웨이퍼까지, 그리고 큰 웨이퍼를 포함하여 다양한 크기의 웨이퍼의 확산 처리를 허용하도록 구성됩니다. 각 존 (Zone) 에는 프로세스 레시피에 대한 모든 요구를 충족시키는 고급 가변 열 영역 (Advanced Variable Heat Zone) 이 장착되어 있습니다. 서로 다른 영역 (zone) 에는 여러 가열 요소가 장착되어 있어 제품 주기의 빠르고 정확한 가열을 보장하기 위해 실시간으로 활성화 (activate) 할 수 있습니다. 용광로 (furnace) 원소의 전기 특성은 각기 다른 웨이퍼 (wafer) 크기와 처리 조건을 수용하기 위해 구역마다 다릅니다. 전기 원소는 300 ° C ~ 1,500 ° C의 다른 온도를 허용하도록 정확하게 제어됩니다. 이로 인해 THERMCO 5100은 반응 어닐링, 스트레스 어닐링, 웨이퍼 불순물 확산 등 다양한 프로세스에 완벽하게 적합합니다. 일관되고 반복 가능한 연간 프로세스를 보장하기 위해 5100 (5100) 에는 공기 순환 팬 및 온도 조절 창 통풍구가 장착되어 있습니다. 기계에는 프로그래밍 가능한 타이머 (timer) 가 장착되어 있어 각 프로세스 사이클의 온도와 너비를 설정할 수 있습니다. 또한, 사용자는 단일 원격 터미널에서 전체 프로세스에 액세스하고 모니터링할 수 있습니다. 비활성 대기 (예: 질소 또는 아르곤) 와 함께 사용할 때 SVG/THERMCO 5100을 사용하면 전체 프로세스 전체에서 2 ° C 균일성을 유지하면서 매우 순수한 확산 프로세스를 달성 할 수 있습니다. SVG 5100에는 프로세스 챔버, 압력 이퀄라이징 피팅 (pressure equalizing fitting), 진공 펌프 (vacuum pump) 와 같은 다양한 액세서리가 포함되어 있으므로 다양한 응용 프로그램이 가능합니다. THERMCO 5100은 안전 연결 (Safety Interlock) 및 긴급 종료 (Emergency Clown) 보호 기능을 갖춘 뛰어난 안전성과 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 또한, 용광로 (furnace) 는 프로세스 문제를 감지하고 용광로가 치명적인 실패를 방지하는 완전한 작동 경보를 특징으로합니다. 전반적으로, 5100은 매우 다양하고 신뢰할 수있는 확산 로로, 우수한 안전 기능을 통해 안정적인 프로세스 제어를 제공합니다. 용광로 (furnace) 의 모듈식 설계와 고급 기능은 모든 확산 프로세스 (diffusion process) 요구 사항에 대해 효율적이고 안정적인 플랫폼을 제공합니다.