판매용 중고 SVG / THERMCO 5000 #9265354

SVG / THERMCO 5000
ID: 9265354
웨이퍼 크기: 6"
Diffusion furnaces, 6".
SVG/THERMCO 5000은 반도체 및 MEMS 장치 제조에 사용되는 단일 우물 디지털 확산로 및 액세서리입니다. 이 모델은 검증된 SVG 4000 의 진화 (evolution) 이며, 고급 기능과 매우 정확한 온도 제어 기능을 제공하여 문제 없이 섬세한 프로세스 (delicate process) 까지 처리 할 수 있습니다. 용광로는 세 가지 주요 부분으로 구성됩니다: 1. 고주파 신호 생성기 (고주파 신호 생성기) 는 기판의 가열과 냉각을 가능하게 한다. 2. 용광로의 본체 인 챔버 (chamber) 는 기판을 수용합니다. 발전기에 의해 최대 1,500 ° C의 다양한 온도로 가열됩니다. 3. 컨트롤러로, 사용자가 용광로와 상호 작용하는 제어판입니다. 컨트롤러는 용광로를 정확하게 제어 할 수 있으며 SVG 5000의 프로그래밍 가능한 기능을 제공합니다. THERMCO 5000의 가장 중요한 기능 중 하나는 프로그래밍 가능한 온도 프로파일의 사용입니다. 이러한 프로파일을 통해 사용자는 프로세스의 특정 온도 주기 (temperature cycle) 를 미리 설정할 수 있습니다. 즉, 열 및 냉각 주기 (heating and cooling cycle) 와 전체 프로세스에 소요되는 시간을 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한, 이 모델에는 여러 가지 고급 안전 기능 (예: 과열 방지, 자동 연동 시스템, 긴급 차단 스위치) 이 있습니다. 5000 은 다양한 액세서리 (accessory) 와 부품 (part) 을 제공하므로 기판의 유연성과 정밀도를 제어할 수 있습니다. 여기에는 고체 세라믹 맨드렐, 온도 프로브, 심지어 실리콘 웨이퍼를위한 석영 전립선 보트, 갈륨 비소 또는 인화 인듐과 같은 기질이 포함됩니다. 이러한 액세서리를 통해 사용자는 전체 프로세스를 사용자 정의하고 정확하게 제어할 수 있습니다. 전반적으로 SVG/THERMCO 5000은 고품질, 신뢰할 수있는 확산 로와 액세서리로, 섬세한 프로세스를 처리하면서 온도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 프로그래밍 가능한 온도 프로파일 (temperature profile) 과 안전 (safety) 기능을 통해 반도체 및 MEMS 장치의 제조 및 테스트에 적합하며, 사용 가능한 액세서리의 범위를 통해 사용자는 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다.
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