판매용 중고 SVG / THERMCO 5000 #293758561
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SVG/THERMCO 5000은 반도체 제작 및 연구를 위해 설계된 고성능 확산 로와 관련 액세서리입니다. 이 확산 로는 최고 온도 조절 정확도 (supreme temperate control accuracy) 로 유명하며, 결과적으로 다양한 장치 컴포넌트 생산에 사용되는 고순도 결정질 (high-purity crystalline) 재료의 성장에 널리 사용되는 도구입니다. SVG 5000은 가스 압력 제어 비활성 가스 대기를 사용하는 대기 급속 열 처리/확산 용광로 장비입니다. "가스 '성분 과 압력 을 모두 제어 할 수 있는 비활성" 가스' 확산/제거 장치 를 갖추고 있어서, 필요 에 따라 여러 가지 "가스 '성분 을 사용 할 수 있다. 비활성 "가스 '대기 는 또한 산화 를 제거 하는데, 이것 은 가공 하는 물질 을 오염 시킬 수 있으므로, 고급 반도체 성분 을 생산 하는 데 이상적 이다. THERMCO 5000은 크기가 다른 오발 (oval) 과 사각형 (rectangle) 에 맞게 구성할 수 있는 이중 가열 영역 장치를 사용합니다. 이를 통해 다양한 "가스 '흐름 패턴을 사용할 수 있으며, 여러 개의" 웨이퍼' 를 동시에 처리할 수 있어 처리량이 증가합니다. 또한 반복 가능한 특성을 가진 고품질 결정을 성장시키기 위해 확산 온도를 정확하게 조절하는 디지털 온도 조절 머신 (digital temperon control machine) 이 있습니다. 5000 은 뛰어난 온도 조절 기능 뿐 아니라, 여러 가지 다른 기능 을 가지고 있는데, 이것 은 "반도체 '제작 에 이상적 인 선택 이다. 열적 확산도 가 높고, 온도 와 "가스 '를 혼합 하는 데 고도 의 균일성 을 제공 하여, 여러 가지 과정 에 적합 하다. 이 도구에는 로보틱 웨이퍼 처리 에셋 (robotic wafer handling asset) 이 있어 웨이퍼 로드, 언로드, 변경 등의 일상적인 작업에 사용할 수 있습니다. 또한 긴급 차단 (Emergency Shoff), 문 개방 시 차단 (Shoff when Door), 조절 가능한 속도 히터 (Speed Heater) 등 여러 가지 안전 기능이 있으며, 모두 사고를 예방하고 모델을 운영자에게 더 안전하게 만듭니다. 결론적으로 SVG/THERMCO 5000은 많은 반도체 및 연구 응용 분야에 이상적인 선택입니다. 정밀한 온도 조절, 가스 혼합 (gas mixing) 기능, 안전 (safety) 기능을 통해 다양한 프로세스에 높은 수준의 성능을 제공합니다. 높은 효율성, 신뢰성, 신뢰성을 통해 다양한 유형의 반도체 프로세싱에 매력적인 선택이 가능합니다.
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