판매용 중고 SVG / THERMCO 4 #293604287
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SVG/THERMCO 4는 고온 반도체 산업에서 기판의 정밀 열 처리를 위해 설계된 고급 확산 로와 액세서리입니다. "SVG '4 는 기질 의 전체 표면 에서 균질 한 온도 를 낼 수 있어서, 전체 과정 에서 일관성 있는 증착 속도 를 낸다. PID 컨트롤러가 장착된 고급 디지털 제어 장비와 시스템 온도를 정확하게 조절하는 열 (thermocouple) 피드백이 장착되어 있습니다. 또한 이 고급 제어 장치 (Advanced Control Unit) 를 사용하면 최소한의 사용자 입력으로 확산 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. THERMCO 4에는 램프 속도, 가스 흐름 속도 및 온도 제한을 포함한 다양한 프로그래밍 가능한 기능이 있습니다. 이 기계는 고온 반도체 생산에 사용될 때 큰 다재다능성을 제공하는 비소, 인, 갈륨 등 다양한 소스와 호환됩니다. 또한, 4에는 저압 아르곤 대기 제어 챔버 (argon atmospheric control chamber) 가 장착되어 안전 제어 환경에서 확산 프로세스 매개변수를 최적화 할 수 있습니다. 확산 공정 챔버 (diffusion process chamber) 에는 비상 정지, 과온 보호 및 산소 및 가연성 가스 검출 경보를 포함한 표준 안전 기능이 있습니다. SVG/THERMCO 4에는 부식으로부터 보호하기 위해 스테인리스 스틸 베이스와 내구성 세라믹 코팅이 있습니다. 이 도구에는 모듈식 디자인이 있으며, 예제 캐리어 플레이트 에셋 (carrier plate asset), 펠리타이징 플레이트 (pellizing plate) 및 기타 기능과 같은 다양한 액세서리를 사용하여 빠르고 쉽게 모델을 구성할 수 있습니다. 또한 보기 창 (viewing window) 이 포함되어 있어 항상 샘플 증착을 주시할 수 있습니다. SVG 4는 고온 반도체 생산을위한 강력하고, 다재다능하며, 효율적인 도구이며, 안정적이고 일관된 확산 과정을 제공합니다. 첨단 디지털 제어 장비와 프로그래밍 가능 (programmable) 기능을 통해 각 프로세스를 최적화하여 각 샘플의 고품질 재현성과 정확성을 보장합니다.
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